產品介紹
M-NanoCoord細微形狀測量系統(tǒng)
特點
• 能精確測量微小表面的形狀(如MEMS 產
品、 電氣設備、精密模、陽模、球面透鏡
等)。
• M-NanoCoord 系列的每一型號均包含一臺
開發(fā)的超高精度主機。
• M-NanoCoord 系列的每一型號均包含一個
作為標準配件的視像測頭。
• 除了標準的視像測頭之外,還可安裝第
二測頭。
兩種測頭可供選擇
極低測力掃描測頭,特別適用于非損傷地
測量軟質工件;
極小測頭的接觸式測針UMAP103,特別適
用于測量微孔。