鐳測科技推出的LS600單頻激光干涉儀采用單頻測量技術(shù),擁有自主知識產(chǎn)權(quán),技術(shù)指標達到或優(yōu)于國外產(chǎn)品同等水平。通過與不同的光學組件結(jié)合,可實現(xiàn)對線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何量的檢測,是高精度線性位移測量、數(shù)控機床校準、三坐標機校準、光學平臺校準的高效率量測工具。
系統(tǒng)組成:
LS600單頻激光頭及附件
LC-2000環(huán)境補償單元
Leice Measure測量軟件、Leice Analysis 分析軟件
線性位移測量鏡組(選配:角度、直線度、垂直度、平面度測量鏡組等)
光學調(diào)整附件
三腳架及其他測量附件
測量方式 | 單頻 |
激光穩(wěn)頻精度 | ±0.05ppm |
真空波長 | 632.99nm |
激光功率 | >0.5mW |
激光光束直徑 | 6 mm |
波長補償精度 | ±0.5ppm |
預熱時間 | <10分鐘 |
測量長度范圍 | 0-40m |
測量精度 | ±0.5ppm* |
精度范圍 | 0℃-40℃ |
分辨率 | 1nm |
測量速度 | 4m/s |
系統(tǒng)測量能力 | 線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度 |
接口 | 內(nèi)置 USB 通訊端口,無需單獨接口 |
觸發(fā)脈沖輸入 | 是 |
*注:精度值不包括將材料溫度歸一化為20℃時與其有關(guān)的誤差 |
懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。