涵蓋了低倍到高倍觀察,并配有多種觀察方法可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對象。
可以完成低倍到高倍的大范圍倍率觀察。不僅如此,*光學技術(shù)打造的光學顯微鏡帶來多種觀察方法,可以容易的發(fā)現(xiàn)觀察對象。此外,對于光學顯微鏡難以找到的觀察對象,還可以使用激光顯微鏡進行觀察。在激光微分干涉(DIC)
觀察中,可以進行納米級微小凹凸的實時觀察。
縮短從放置樣品到獲取影像的工作時間。
放置好樣品后,所有的操作都在1臺裝置上完成。可以迅速,正確的把觀察對象移到SPM顯微鏡下面,所以只要掃描1次就能獲取所需的SPM影像。
一體機的機型,所以無需重新放置樣品只要在1臺裝置上切換倍率、觀察方法
就能夠靈活應對新樣品。
OLS4500是把光學顯微鏡、激光顯微鏡、探針顯微鏡融于一體的一體機,所以無需重新放置樣品,即可自由切換3種顯微鏡進行觀察和評價。這3種顯微鏡各自持有優(yōu)異的性能,所以能夠高效輸出好的結(jié)果。
OLS4500實現(xiàn)了無縫觀察和測量
【發(fā)現(xiàn)】可以迅速發(fā)現(xiàn)觀察對象
使用光學顯微鏡的多種觀察方法, 迅速找到觀察對象
OLS4500采用了白色LED光源, 可以觀察到顏色逼真的高分辨率彩色影像。它裝有4種物鏡, 涵蓋了低倍到高倍的大范圍觀察。OLS4500充分發(fā)揮了光學觀察的特長, 除了常使用的明視場觀察(BF)以外, 還可以使用對微小的凹凸添加明暗對比, 達到視覺立體效果的微分干涉觀察(DIC), 以及用顏色表現(xiàn)樣品偏光性的簡易偏振光觀察。此外, OLS4500上還配有HDR功能(高動態(tài)范圍功能), 該功能使用不同的曝光時間拍攝多張影像后進行合成, 來顯示亮度平衡更好、強調(diào)了紋理的影像。在OLS4500上您可以使用多種觀察方法迅速找到觀察對象。
使用激光顯微鏡,可以觀察到光學顯微鏡中難以觀察到的樣品影像
OLS4500采用了短波長405 nm的激光光源和高N.A.的專用物鏡, 實現(xiàn)了優(yōu)異的平面分辨率。能以鮮明的影像呈現(xiàn)出光學顯微鏡中無法看到的觀察對象。在激光微分干涉(DIC)模式中還可以實時觀察納米級的微小凹凸。
【接近】迅速發(fā)現(xiàn)觀察對象,在SPM上正確完成觀察
實現(xiàn)了無縫觀察,不會丟失觀察對象
OLS4500在電動物鏡轉(zhuǎn)換器上裝配了涵蓋低倍到高倍觀察的4種物鏡, 以及小型SPM單元。在光學顯微鏡或激光顯微鏡的50倍、100倍的實時觀察中, 由于SPM掃描范圍一直顯示于視場中心, 所以把觀察目標點對準該位置后, 只要切換到探針顯微鏡, 就能夠正確接近觀察對象。因此, 只需1次SPM掃描就能獲取目標影像, 從而能夠提高工作效率并降低微懸臂的損耗。
高度分辨率10 nm,輕松測量微小輪廓
由于采用405 nm的短波長激光和更高數(shù)值孔徑的物鏡, OLS4500達到了0.12 μm的平面分辨率。因此, 可以對樣品的表面進行亞微米的測量。結(jié)合高精度的光柵讀取能力和奧林巴斯沒有的亮度檢測技術(shù), OLS4500可以分辨出亞微米到數(shù)百微米范圍內(nèi)的高度差。此外, 激光顯微鏡測量還保證了測量儀器的兩大指標——“正確性”(測量值與真正值的接近程度)和“重復性”(多次測量值的偏差程度)的性能。
主機 規(guī)格
LSM部分 | 光源、檢出系統(tǒng) | 光源:405 nm半導體激光、檢出系統(tǒng):光電倍增管 | ||
總倍率 | 108~17,280X | |||
變焦 | 光學變焦:1~8X | |||
測量 | 平面測量 | 重復性 | 100x : 3σn-1=0.02μm、50x:3σn-1=0.04μm、20x:3σn-1=0.1μm | |
正確性 | 測量值的±2%以內(nèi) | |||
高度測量 | 方式 | 物鏡轉(zhuǎn)換器上下驅(qū)動方式 | ||
行程 | 10mm | |||
內(nèi)置比例尺 | 0.8nm | |||
移動分辨率 | 10nm | |||
顯示分辨率 | 1nm | |||
重復性 | 100x :σn-1= 0.012μm、50x:σn-1=0.012μm、20x:σn-1=0.04μm | |||
正確性 | 0.2+L/100 μm以下(L=測量長度) | |||
彩色觀察部分 | 光源、檢出系統(tǒng) | 光源:白色LED、檢出系統(tǒng):1/1.8英寸200萬像素單片CCD | ||
變焦 | 碼變焦:1~8X | |||
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 6孔電動物鏡轉(zhuǎn)換器 | |||
微分干涉單元 | 微分干涉滑片:U-DICR、內(nèi)置偏振光片單元 | |||
物鏡 | 明視場平面半消色差透鏡5X LEXT專用平面復消色差透鏡20X、50X、100X | |||
Z對焦部分行程 | 76 mm | |||
XY載物臺 | 100 x 100 mm(電動載物臺) | |||
SPM部分 | 運行模式 | 接觸模式、動態(tài)模式、相位模式、電流模式*、表面電位模式(KFM)*、磁力模式(MFM)* | ||
位移檢出系統(tǒng) | 光杠桿法 | |||
光源 | 659 nm半導體激光 | |||
檢出設備 | 光電檢測器 | |||
掃描范圍 | X-Y:30 μm x 30 μm、Z: 4.6 μm | |||
安裝微懸臂 | 在盒式微懸臂支架上一鍵安裝。使用微懸臂安裝位置調(diào)整專用工裝夾具預對位,更換支架時無需光學調(diào)整。 | |||
系統(tǒng) | 總重量 | 約440 kg(不包含電腦桌) | ||
I額定輸入 | 100-120 V/220-240 V、600 VA、50/60 Hz |