Opt-scope(白光干涉顯微鏡)
光學(xué)測(cè)量機(jī)
- 非接觸三圍表面粗糙度?形狀測(cè)量機(jī)
Opt-scope(白光干涉顯微鏡)非接觸。高分辨率。范圍廣。Opt-scope R:300mm移動(dòng)范圍的自動(dòng)測(cè)量臺(tái),可進(jìn)行晶片晶圓的測(cè)量。 - 非接觸三維表面粗糙度和形狀測(cè)量?jī)xOpt-scope CLW(白色干涉顯微鏡)使用白色干涉原理,可以分析以往顯微鏡難以測(cè)定的深孔底和齒輪齒面、圓柱內(nèi)表面粗糙度和形狀的便攜式非接觸3D表面粗糙度和形狀測(cè)量機(jī)。Z方向測(cè)量范圍、工作距離擴(kuò)大40mm,對(duì)應(yīng)各種測(cè)量工件。