- 01高自動化
晶圓專用機械手自動取放,自動對焦
- 02強兼容性
搭配不同光源,可適應(yīng)不同精度等級標(biāo)識
- 03高容錯率
智能化,視覺定位+自動尋邊,容錯率高
項目 | 主要技術(shù)參數(shù) | ||
激光器參數(shù) | 設(shè)備型號 | LSF20 | LSU5EB |
激光光源 | 光纖激光器 | 紫外激光器 | |
激光波長 | 1064nm | 355nm | |
平均功率 | 20W | 5W | |
加工性能 | 加工精度 | ±0.1mm | ±0.05mm |
幅面 | 150×150mm | 150×150mm | |
支持文檔格式 | bmp,jpg,png,ai,dxf,dst,plt | ||
其他 | 供電規(guī)格 | 2.0KW/AC220V/50HZ | |
環(huán)境要求 | 0-40℃ | <35℃ | |
整機尺寸(長×寬×高) | 1250mm*900mm*1900mm |