- 01加工質(zhì)量高
切割線寬窄(以紫外準(zhǔn)直為例,切割線寬 +HAZ≤20±5μm),崩邊小(≤10μm)
- 02加工效率高
UPH≥10 (紫外振鏡:以3英寸雙臺(tái)面硅二極管晶圓為例,含自動(dòng)對(duì)位時(shí)間)
- 03加工穩(wěn)定性好
激光器脈沖穩(wěn)定性高(≤2% rms),光束質(zhì)量高( M2≤1.2)
內(nèi)容 | 主要技術(shù)參數(shù) | ||
設(shè)備型號(hào) | LUD3200 | LUD3210 | |
激光器參數(shù) | 中心波長(zhǎng) | ~355nm | ~355nm |
加工頭 | 激光掃描頭 | 激光準(zhǔn)直頭 | |
加工性能 | 有效工作行程 | 200x300mm(選配)、 DD馬達(dá) | 200x300mm(選配)、 DD馬達(dá) |
重復(fù)定位精度 | ±2μm 、 ± 5arc sec | ±2μm 、 ± 5arc sec | |
視覺(jué)定位 | 正面定位 、正面切割 | 正面定位 、正面切割 | |
劃線線寬 | ≤30± 5 μm | ≤20± 5 μm | |
其他 | 供電規(guī)格 | 220V/50Hz/3 .5 kW | 220V/50Hz/3 .5 kW |
整機(jī)尺寸 | 1500mm*1700mm*2000mm | 1500mm*1700mm*2000mm | |
設(shè)備重量 | 1500 Kg | 1500 Kg |