SuperViewW1白光干涉儀精密測量表面三維形貌能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,測試各類表面并自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機(jī)械等等領(lǐng)域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器。
優(yōu)點(diǎn)
一是非接觸高精密測量,不會(huì)劃傷甚至破壞工件;
二是測量速度快,不必像探頭逐點(diǎn)進(jìn)行測量;
三是不必作探頭半徑補(bǔ)正,光點(diǎn)位置就是工件表面測量的位置;
四是對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu),可以快速而精確的得到理想的測量結(jié)果。
SuperViewW1白光干涉儀精密測量表面三維形貌的重建算法自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn),在硬件系統(tǒng)的配合下,分辨率可達(dá)0.1nm。其雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì),既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣,在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng),同時(shí)內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動(dòng),確保儀器在車間也能正常工作。
部分參數(shù)
Z向分辨率:0.1nm
橫向分辨率(0.5λ/NA):100X~2.5X:0.5um~3.7um
粗糙度RMS重復(fù)性:0.1nm
表面形貌重復(fù)性:0.1nm
臺階測量:重復(fù)性:0.1% 1σ;準(zhǔn)確度:0.75%
在3C領(lǐng)域,SuperViewW1可以測量藍(lán)寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度;
在LED行業(yè),SuperView W1可以測量藍(lán)寶石、碳化硅襯底表面粗糙度;
在光纖通信行業(yè),SuperView W1可以測量光纖端面缺陷和粗糙度;
在集成電路行業(yè),SuperView W1可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度;
在EMES行業(yè),SuperView W1可以測量臺階高度和表面粗糙度;
在軍事領(lǐng)域,SuperViewW1可以測量藍(lán)寶石觀察窗口表面粗糙度。
深圳市中圖儀器股份有限公司致力于精密測量、計(jì)量檢測等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實(shí)踐,專業(yè)覆蓋面廣,專項(xiàng)技術(shù)能力強(qiáng),具備了從納米到百米為用戶提供精密測量解決方案的能力。