VASE高精度薄膜厚度量測(cè)儀特點(diǎn)
- 測(cè)量靈活:帶有垂直樣品臺(tái)的V-VASE,可以適應(yīng)各類測(cè)量,包括反射、穿透、散射等。
- 準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)測(cè)量:VASE是結(jié)合自了動(dòng)相位延遲(AutoRetarder®)技術(shù)的旋轉(zhuǎn)檢偏(RAE)橢偏儀,測(cè)量精準(zhǔn)。
- 高精度的波長(zhǎng)選擇:HS-190掃描式單色儀是為光譜橢偏術(shù)專門設(shè)計(jì)的。在自動(dòng)控制波長(zhǎng)選擇及光譜分辨率時(shí),它可以優(yōu)化速度、波長(zhǎng)準(zhǔn)確性及光輸出。
- VCSEL量測(cè)