VUV-VASE Ellipsometer薄膜厚度量測(cè)儀特點(diǎn):
- 大面積尺寸樣品膜厚量測(cè),可達(dá)1.1 x 1.5 m
- 均勻性掃描適用各種材料
- UV-VIS-IR波長(zhǎng)可選
- 智慧型使用介面,快速定義量測(cè)區(qū)域欲測(cè)試點(diǎn)
- 內(nèi)建完整model,快速因應(yīng)各式材料薄膜
- VCSEL量測(cè)
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