MicroMaster準(zhǔn)分子雷射加工系統(tǒng) 特點(diǎn)
- 採用ATL的300Hz高重複頻率的193nm或248nm準(zhǔn)分子雷射器:適合雷射雕刻直寫,快速刻蝕圖形
- 雷射器維護(hù)簡便,運(yùn)行費(fèi)用低
- 的LightDeck光路系統(tǒng),精密靈活的操縱控制
- 高精度電控x-y掃描平臺,和z軸自動聚焦控制
- 微孔,微槽加工,微小工件加工
- MEMS,MOEMS器件研發(fā)與生産(非矽器件)
- 醫(yī)學(xué)
- OLED聚合物、金屬膜選擇性去除
- 光纖包層等有選擇性去除
- 微米、納米科學(xué)研究
- 陶瓷、聚酯物、玻璃、金屬膜等材料微加工
- LLO雷射剝離微流量緩釋,電泳微流槽