液晶面板製造暨檢查設(shè)備
電路整列製程設(shè)備(Array Fabrication)及彩色濾光片製程設(shè)備(C/F,Color Filter Process)
玻璃基板表面檢查設(shè)備
![](https://img69.jc35.com/99c876c5d9ae48d9364b2d314348ff16f11fd0fbb770baf8798e8b7bfbf6b1040cbe1480a596b8c5.jpg)
- 於對(duì)坡璃基板表面異物檢查及製程管理
- 對(duì)應(yīng)基板的大型化、薄型化的發(fā)展趨勢(shì)。
- 具有節(jié)省無(wú)塵室空間、高檢出感度、檢查速度快及高表裡分離能力等優(yōu)點(diǎn)。
近接式曝光機(jī)
![](https://img69.jc35.com/99c876c5d9ae48d9364b2d314348ff1650c5190068933f43adfa689dd64c6ef314562ef6dc718115.jpg)
- 最以X Y Step方式對(duì)應(yīng)第10代基板尺寸的近接式曝光機(jī)
- 比投影式曝光機(jī)臺(tái)具有成本上優(yōu)勢(shì)
- 採(cǎi)用高功率的曝光光源