液晶面板製造暨檢查設(shè)備
電路整列製程設(shè)備(Array Fabrication)及彩色濾光片製程設(shè)備(C/F,Color Filter Process)
玻璃基板表面檢查設(shè)備
- 於對坡璃基板表面異物檢查及製程管理
- 對應(yīng)基板的大型化、薄型化的發(fā)展趨勢。
- 具有節(jié)省無塵室空間、高檢出感度、檢查速度快及高表裡分離能力等優(yōu)點(diǎn)。
近接式曝光機(jī)
- 最以X Y Step方式對應(yīng)第10代基板尺寸的近接式曝光機(jī)
- 比投影式曝光機(jī)臺(tái)具有成本上優(yōu)勢
- 採用高功率的曝光光源