ATLEX-300-I/ATLEX-500-I準分子雷射

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公司名稱先鋒科技股份有限公司
品牌
型號
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廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時間 2022-06-03
訪問次數(shù)164

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先鋒科技股份有限公司創(chuàng)立於1987年，至今已超過數(shù)十年，是專業(yè)從事光電產(chǎn)業(yè)相關(guān)領(lǐng)域內(nèi)與科研、工業(yè)生產(chǎn)、製造等環(huán)節(jié)密切相關(guān)的精密光學量測光電儀器代理與系統(tǒng)整合業(yè)務(wù)的綜合性服務(wù)公司，公司座落於臺北市南港軟體園區(qū)。先鋒代理的國外光電儀器、設(shè)備及系統(tǒng)生產(chǎn)商超過100家，產(chǎn)品內(nèi)??容豐富，均為各自領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)產(chǎn)品

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Anewgenerationofcompactair-cooled

ATLEX-300-I/ATLEX-500-I準分子雷射產(chǎn)品信息

A new generation of compact air-cooled, high repetition rate excimer lasers, designed for low- and mid-range duty cycle applications
ATLEX-300-I/ATLEX-500-I準分子雷射特點：

Soft corona preionization
HV-solid state pulser
Laser head volume <>
TMC (Total-Metal-Ceramic) Vessel
Integrated vacuum pump & halogen filter
Air Cooled / Optional Liquid Cooled, active thermal management
RS-485, RS232, USB and fiber optic Interface for system integration
Flushable optics holder
Energy stabilization mode
Meets European CE-standard
RoHS compliance

ATLEX-300-I/ATLEX-500-I準分子雷射應(yīng)用：

Micromachining
Laser ablation
Medicine (refractive surgery)
Spectroscopy
Metrology

ATLEX-300-I/ATLEX-500-I準分子雷射主要參數(shù)

ATLEX-300-I Specifications
Gas Medium	F2	ArF	KrF	XeCl	XeF	Units
Wavelength	157	193	248	308	351	nm
High Voltage Switching Technique	Solid State Switch
Max. Pulse Energy 1	1	10	15	8	7	mJ
Max. Average Power	0.2 / 0.5	2.4 / 4.0	4.0 / 6.5	2.0 / 3.0	1.7 / 2.5	W
Max. Rep Rate	300 / 500					Hz
Pulse Duration 2	5 – 8					ns
Beam Dimensions 2 (V x H)	4 x 6					mm
Beam Divergence 2 (V x H)	1 x 2					mrad
Energy Stability (standard deviation)	< 3="">					%
Dimensions (LxWxH) click here for details	540 x 470 x 370					mm
Weight	60					kg
Cooling	Cooling Air / Optional Liquid
Power requirement	230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz