產(chǎn)品說(shuō)明
Cosmo Finder 是一種使用顯微鏡通過(guò)圖像處理實(shí)現(xiàn)晶圓的高速和高精度目視檢查的設(shè)備。例如，我們可以解決客戶(hù)無(wú)法檢查所有晶圓，未發(fā)現(xiàn)微小異物或幾微米的刮痕，工人誤檢，節(jié)省人工等問(wèn)題。
特色
- 不限制使用場(chǎng)所，節(jié)省空間設(shè)計(jì)
緊湊的設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了 1m x 1m 或更小的佔(zhàn)地面積。
光學(xué)單元、驅(qū)動(dòng)單元、圖像處理單元和控制單元內(nèi)置於主體內(nèi)部，以在節(jié)省空間的同時(shí)實(shí)現(xiàn)高性能。它可以用於製造過(guò)程到研發(fā)部門(mén)的所有場(chǎng)所。 - 圖像分析，30多年的經(jīng)驗(yàn)實(shí)現(xiàn)高精度檢測(cè)
憑藉30多年的圖像分析軟體開(kāi)發(fā)經(jīng)驗(yàn)，我們可以接受眾多客戶(hù)的要求，並對(duì)各種缺陷的識(shí)別做出響應(yīng)。 Cosmo Finder 還可以有效地檢查迄今為止難以檢測(cè)的異物和劃痕。 - 基於AI技術(shù)改善無(wú)法辨識(shí)問(wèn)題
在管理目測(cè)檢測(cè)到的缺陷時(shí)，我們經(jīng)常會(huì)遇到“人眼可以分類(lèi)，計(jì)算機(jī)不能分類(lèi)”的問(wèn)題。但是，通過(guò)Cosmo Finder的AI功能進(jìn)行學(xué)習(xí)，可以根據(jù)相似粒子的形狀、大小、亮度等，像人類(lèi)分類(lèi)一樣對(duì)粒子進(jìn)行分類(lèi)。
規(guī)格
Cosmo Finder
| 待測(cè)晶圓 | 裸晶、圖案化晶圓、帶膜晶圓 |
|---|---|
| 晶圓尺寸 | 2英寸到8英寸 |
| 檢查項(xiàng)目 | 異物、裂紋、亮度不均、斷線(xiàn)、圖案識(shí)別、尺寸、尺寸、OK/NG判斷 |
| 檢測(cè)方法 | 顯微圖像處理方法（高速模式匹配、AI分類(lèi)、亮度提取） |
| 檢測(cè)時(shí)間 | 約10分鐘/晶圓（6英寸晶圓，分辨率0.69um） |
| 檢測(cè)靈敏度 | 約2μm以上 |
| 相機(jī) | 2 / 3 英寸 5MP CMOS 攝像頭 |
| 光源 | 白光LED |
| 自動(dòng)對(duì)焦 | 激光三角測(cè)距型，對(duì)焦時(shí)間100毫秒以下 |
| 設(shè)備尺寸 | 寬635mm 高1355mm 長(zhǎng) 998mm |
| 設(shè)備重量 | 約130kg |
