產(chǎn)品說明
Cosmo Finder 是一種使用顯微鏡通過圖像處理實現(xiàn)晶圓的高速和高精度目視檢查的設(shè)備。例如，我們可以解決客戶無法檢查所有晶圓，未發(fā)現(xiàn)微小異物或幾微米的刮痕，工人誤檢，節(jié)省人工等問題。
特色
- 不限制使用場所，節(jié)省空間設(shè)計
緊湊的設(shè)計實現(xiàn)了 1m x 1m 或更小的佔地面積。
光學(xué)單元、驅(qū)動單元、圖像處理單元和控制單元內(nèi)置於主體內(nèi)部，以在節(jié)省空間的同時實現(xiàn)高性能。它可以用於製造過程到研發(fā)部門的所有場所。 - 圖像分析，30多年的經(jīng)驗實現(xiàn)高精度檢測
憑藉30多年的圖像分析軟體開發(fā)經(jīng)驗，我們可以接受眾多客戶的要求，並對各種缺陷的識別做出響應(yīng)。 Cosmo Finder 還可以有效地檢查迄今為止難以檢測的異物和劃痕。 - 基於AI技術(shù)改善無法辨識問題
在管理目測檢測到的缺陷時，我們經(jīng)常會遇到“人眼可以分類，計算機不能分類”的問題。但是，通過Cosmo Finder的AI功能進行學(xué)習(xí)，可以根據(jù)相似粒子的形狀、大小、亮度等，像人類分類一樣對粒子進行分類。
規(guī)格
Cosmo Finder
| 待測晶圓 | 裸晶、圖案化晶圓、帶膜晶圓 |
|---|---|
| 晶圓尺寸 | 2英寸到8英寸 |
| 檢查項目 | 異物、裂紋、亮度不均、斷線、圖案識別、尺寸、尺寸、OK/NG判斷 |
| 檢測方法 | 顯微圖像處理方法（高速模式匹配、AI分類、亮度提取） |
| 檢測時間 | 約10分鐘/晶圓（6英寸晶圓，分辨率0.69um） |
| 檢測靈敏度 | 約2μm以上 |
| 相機 | 2 / 3 英寸 5MP CMOS 攝像頭 |
| 光源 | 白光LED |
| 自動對焦 | 激光三角測距型，對焦時間100毫秒以下 |
| 設(shè)備尺寸 | 寬635mm 高1355mm 長 998mm |
| 設(shè)備重量 | 約130kg |
