產(chǎn)品說(shuō)明
Contami Analyzer異物篩檢系統(tǒng)是利用圖像處理方法，構(gòu)建外觀檢查系統(tǒng)。例如構(gòu)建能夠通過(guò)目視和自動(dòng)檢查，分析圓晶上的蝕刻圖形的寬度和高度，識(shí)別異物等，進(jìn)行合格與否判定的系統(tǒng)。可在廣泛的行業(yè)中應(yīng)用，例如半導(dǎo)體晶圓、玻璃基板異物檢查、化學(xué)品過(guò)濾器的殘?jiān)鼨z查、汽車零部件清洗時(shí)的膜過(guò)濾器檢查（ISO16232標(biāo)準(zhǔn)規(guī)範(fàn)）等。
支援光學(xué)顯微鏡、數(shù)位顯微鏡、實(shí)體顯微鏡、微距鏡頭等，可選擇適合觀察處理顆粒的攝影方法。
在圓晶以(或)過(guò)濾器表面的圖形、缺陷、異物的檢查中重視檢查精度
正在探討減少作業(yè)人員的誤差、自動(dòng)化檢查系統(tǒng)
被迫以觀察顯微鏡的固定姿勢(shì)長(zhǎng)時(shí)間作業(yè)
進(jìn)行目視檢查時(shí)，不知道檢查過(guò)哪些地方
希望利用原有設(shè)備來(lái)擴(kuò)充，降低建置成本
特色
- 快速檢查：僅用約1分鐘即可對(duì)直徑47mm的圓形過(guò)濾器進(jìn)行掃描處理。
- 自動(dòng)修補(bǔ)照明不均：根據(jù)攝影環(huán)境，消除因照明或鏡頭像差等導(dǎo)致的亮度不均現(xiàn)象，確保檢查之正確。
- 複查功能：?jiǎn)螕粲跋窦纯娠@示檢查圖像，亦可將載物臺(tái)移動(dòng)到檢查位置。
- 通過(guò)目視檢查更放心：在複查中發(fā)現(xiàn)到錯(cuò)誤檢查判定的圖像及顆粒等，可以用目視來(lái)確認(rèn)。
- Excel®報(bào)表輸出：檢查結(jié)果可以輸出到微軟公司Excel®中。
- 統(tǒng)計(jì)計(jì)算：抽取的顆粒，可以根據(jù)顆粒尺寸等自動(dòng)創(chuàng)建、顯示統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)
規(guī)格
Contami Analyzer 異物篩檢系統(tǒng)
| 數(shù)位顯微鏡 | ||||
|---|---|---|---|---|
| CCD | 1/1.8型CCD | |||
| 有效像素 | 1628×1236 | |||
| 光源 | LED燈 | |||
| 照明 | 同軸反射方式/環(huán)形方式（透射方式為選購(gòu)件） | |||
| 調(diào)節(jié)功能 | 快門、白平衡、增益 | |||
| 電動(dòng)XY載物臺(tái) | ||||
| 移動(dòng)量 | X?Y軸: ±50 mm | |||
| 移動(dòng)解析度 | X?Y軸：±2 μm | |||
| 重複定位精度 | X?Y軸：±1 μm | |||
| 專用PC | 作業(yè)系統(tǒng): Windows10；內(nèi)建：4GB；HDD：1TB以上； 21英寸LCD Monitor 本規(guī)格會(huì)依客戶實(shí)際需求變更 | |||
