產(chǎn)品說明
採用點(diǎn)雷射自動聚焦方式（符合ISO25178-605 Point Autofocus Probe量測原理），雷射聚焦樣品表面掃描，當(dāng)使用x100物鏡聚焦樣品表面時(shí)雷射光點(diǎn)尺寸(Spot size)φ1um，可量測微結(jié)構(gòu)表面形貌。
PF-600 適合大型工件之掃描式表面輪廓儀，量程X/Y/Z為600/600/10mm且三軸都用光學(xué)尺解析，樣品放置空間X/Y/Z為800/800/120mm，超高精度與真直度對工件平面度Flatness或翹曲Warpage量測有優(yōu)異表現(xiàn)，適合100KgW以下載重各種樣品量測需求。
樣品量測應(yīng)用，例如天文望遠(yuǎn)鏡鏡片非球面量測、X-Ray入射鏡輪廓量測、太陽光集光鏡片輪廓、晶圓、花崗石平臺、面板、精密滑軌、精密模具之平面度粗糙度掃描需求。
特色
- 適合量測材料：鑽石、透明、液態(tài)膠狀、石墨黑、陶瓷白…等表面輪廓
- 一次量測樣品同時(shí)解析幾何輪廓與表面粗度數(shù)據(jù)
- 掃瞄速度：50mm/sec 高速高精度掃描
- 標(biāo)準(zhǔn)分析軟體：2D/3D輪廓及粗度分析、平面度分析
- 選購分析軟體：批次分析、2D/3D CAD比對軟體、非球面評價(jià)軟體
規(guī)格
| X軸 | Y軸 | AF(Z1)軸 （量測用） | Z2軸 （定位用） | ||
| 量測距離 | 600mm | 600mm | 10mm | 120mm | |
| 定位分辨率 | 0.1µm | 0.1µm | 0.01µm | 0.1µm | |
| 尺 | 光學(xué)尺 | 光學(xué)尺 | 光學(xué)尺 | 脈衝 | |
| 精度 | (2+4L/1000) µm | (2+4L/1000) µm | (0.3+0.5L/10) µm | ||
| 光學(xué)自動對焦系統(tǒng) | 重現(xiàn)性 | σ=0.03µm（鏡面（樣品）表面） | |||
| 聚焦範(fàn)圍 | ? 1µm（搭配100X 物鏡） | ||||
| 雷射 | 半導(dǎo)體雷射(O/P: 1mW Max λ : 635nm class 2) | ||||
| 量測用物鏡 | 100X (WD=3.4mm NA=0.8) 觀察倍率:約1100倍（9吋螢?zāi)唬?/td> | ||||
| 雷射入射角度可變機(jī)構(gòu) | 水平迴轉(zhuǎn) (0~90°) | ||||
| 落射照明 | 科勒照明（光源: 白LED） | ||||
| 載物臺 | 導(dǎo)軌 | XY：空氣軸承 AF(Z1)、Z2：螺桿 | |||
| 供給空氣 | 乾燥空氣 | ||||
| 供給壓力 | 0.6MPa | ||||
| AIR消耗量 | 120 L/min (max) | ||||
| XY平臺尺寸 | 800x800mm | ||||
| 樣品高度 | 230mm（含AF移動空間可達(dá)300mm） | ||||
| 樣品重量 | 100kg | ||||
| 儀器尺寸 | 2240x1800x2000mm 載物面高880mm | ||||
| 避震器 | 4點(diǎn)氣浮式（固有振動：水平2.8 垂直2.3Hz） | ||||
| 儀器重量 | 4500kg | ||||
| 消費(fèi)電力 | 1000W (AC100V 10A) | ||||
車載曲面玻璃
車用曲面玻璃為圓弧型輪廓設(shè)計(jì)，安裝於駕駛儀表板、副駕駛前方或前擋風(fēng)玻璃，做為行車資訊提供與車內(nèi)娛樂娛樂顯示，曲面玻璃的面形精度不如鏡片高，因?yàn)榍娌ＡЯ繙y面積非常大，為縮短量測時(shí)間會再表面噴塗銀粉以提高反射率，因?yàn)闃悠访娣e很大，如果每片都要噴塗銀粉，一來銀粉塗布不均是否增加量測物差，二來樣品前處理耗材費(fèi)用將是成本考量之一，另外樣品前後處理的清潔總時(shí)間與直接量測所花費(fèi)時(shí)間是否較短? 還有噴銀粉的技術(shù)變成為面形量測精度變數(shù)之一，種種細(xì)節(jié)影響量測精度。
三鷹光器公司提供了直接量測大面積透明曲面鏡的解決方案，樣品數(shù)十公分的鏡面大小，無需噴粉等麻煩前置作業(yè)，也能輕易量測微米級的表面形貌差異變化。
曲面玻璃量測範(fàn)例
快速面形比對，使用3D CAD比對方式是選擇之一，三鷹光器雷射自動聚焦表面輪廓儀，掃描樣品表面輪廓，XYZ 3軸座標(biāo)都是光學(xué)尺量測數(shù)據(jù)，量測精度有保障。3D CAD擬合比對方法設(shè)定公差上下限，從圖面上可判定量測誤差。
HUD 凹面與凸面的設(shè)計(jì)值比對結(jié)果。（凹面PV=30um,凸面PV=40um）
晶圓拋光後平面度量測
12吋晶圓CMP拋光平面度與粗糙度量測極為重要，日本三鷹光器量測儀器優(yōu)勢在量測大行程且高精度樣品之表面輪廓，以PF-600為例：XY移動軸600mm，搭配光學(xué)尺做樣品取點(diǎn)密度0.1um，自動聚焦重現(xiàn)性δ=0.03um，為晶圓拋光平面度量測提供解決方法。
為驗(yàn)證儀器精度，我們使用光學(xué)平面鏡做表面3D平面度掃描測試，下圖使用光學(xué)級平面鏡來驗(yàn)證PF-600量測機(jī)精度，設(shè)定掃描直徑380mm（範(fàn)圍 XY 380x380mm 約15吋），掃瞄速度20mm/sec，樣品設(shè)置方式如下圖。
