產(chǎn)品說明
採(cǎi)用點(diǎn)雷射自動(dòng)聚焦方式（符合ISO25178-605 Point Autofocus Probe量測(cè)原理），雷射聚焦樣品表面掃描，當(dāng)使用x100物鏡聚焦樣品表面時(shí)雷射光點(diǎn)尺寸(Spot size)φ1um，可量測(cè)微結(jié)構(gòu)表面形貌。
NH-3MAs 除了掃描式表面輪廓儀功能外，還有光學(xué)特性評(píng)價(jià)機(jī)能，例如Micro Lens Array焦點(diǎn)位置評(píng)價(jià)、形變、光形輪廓、MTF…等，多種倍率量測(cè)物鏡選擇及電動(dòng)鼻輪切換倍率，可拍照記錄量測(cè)位置，方便觀察並標(biāo)示出量測(cè)位置是否有缺陷。
量程X/Y/Z為100/100/10mm且三軸都用光學(xué)尺解析，樣品放置空間X/Y/Z為100/100/100mm，適合12KgW以下載重各種樣品量測(cè)需求，量測(cè)機(jī)可改造。獨(dú)特AF功能可偵測(cè)樣品球心、邊際、圓徑、溝寬。 MACRO量測(cè)軟體達(dá)到自動(dòng)化量測(cè)需求。
特色
- 適合量測(cè)材料：鑽石、透明、液態(tài)膠狀、石墨黑、陶瓷白…等表面輪廓
- 一次量測(cè)樣品同時(shí)解析幾何輪廓與表面粗度數(shù)據(jù)
- 適合量測(cè)工件：Micro Lens Array 光學(xué)特性評(píng)價(jià)（如前焦點(diǎn)位置座標(biāo)、背焦點(diǎn)位置座標(biāo)、球相差…）、魚眼鏡、柱狀鏡、CCD晶片鏡片、投影機(jī)MLA
- 標(biāo)準(zhǔn)分析軟體：2D/3D輪廓及粗度分析、平面度分析
- 選購(gòu)分析軟體：前焦點(diǎn)位置、背焦點(diǎn)位置、焦點(diǎn)深度、光斑強(qiáng)度、形變相差、MTF、非球面評(píng)價(jià)軟體
規(guī)格
光學(xué)特性評(píng)價(jià)NH-3MAs
| X軸 | Y軸 | AF(Z1)軸 （量測(cè)用） | Z2軸 （定位用） | ||
| 量測(cè)距離 | 100mm | 100mm | 10mm | 100mm | |
| 定位分辨率 | 0.1µm | 0.1µm | 0.01µm | 0.1µm | |
| 尺 | 光學(xué)尺 | 光學(xué)尺 | 光學(xué)尺 | 脈衝 | |
| 精度 | (2+4L/1000) µm | (2+4L/1000) µm | (0.3+0.5L/10) µm | (3+L/10) µm | |
| 顯微鏡光學(xué)系統(tǒng) | 光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠(yuǎn)聚焦光學(xué) f = 180mm | |||
| 雷射聚焦尺寸(Spot) | ? 1µm(100X NA=0.8 WD=3.4mm)、 ? 2µm(50X NA=0.5 WD=10.6mm)、 ? 4µm(20X NA=0.4 WD=12mm)、 ? 15µm(10X NA=0.3 WD=11mm) | ||||
| 鼻輪 | 馬達(dá)控制 | ||||
| 自動(dòng)對(duì)焦 | 重現(xiàn)性 | σ=0.03µm（鏡面（樣品）表面） 使用100X | |||
| 雷射規(guī)格 | 半導(dǎo)體雷射(O/P: 1mW Max λ : 635nm class 2) | ||||
| 載物臺(tái) | XY平臺(tái)尺寸 | 244x240mm | |||
| 樣品高度 | 105mm | ||||
| 樣品重量 | 12kg | ||||
| 其他 | 儀器尺寸 | 1550x900x1400 mm | |||
| 避震器 | 氣浮式（空氣壓力：5kgf/cm2） | ||||
| 儀器重量 | 210kg | ||||
| 消費(fèi)電力 | 700W (100V 7A) | ||||
| AF軸（選購(gòu)） | 15mm、20mm | ||||
| Z2軸（選購(gòu)） | 光學(xué)尺精度 (2+3L/100) um | ||||
微透鏡陣列光學(xué)特性評(píng)價(jià)
NH-3MAs 除了具備表面掃描量測(cè)功能外，還有微透鏡陣列Micro Lens Array 光學(xué)特性量測(cè)，NH-3MAs 光學(xué)特性評(píng)價(jià)有下述功能
a) 有效焦點(diǎn)深度
b) 背焦點(diǎn)距離
c) 雷射光斑形貌
d) 焦點(diǎn)位置座標(biāo)
e) 像差失真
f) MTF
MLA 3D輪廓掃描與2D斷面輪廓評(píng)價(jià)
光學(xué)特性評(píng)價(jià)範(fàn)例
MLA焦點(diǎn)位置偏移
MLA透過率分佈
