產(chǎn)品說明
採用點(diǎn)雷射自動(dòng)聚焦方式（符合ISO25178-605 Point Autofocus Probe量測(cè)原理），雷射聚焦樣品表面掃描，當(dāng)使用x100物鏡聚焦樣品表面時(shí)雷射光點(diǎn)尺寸(Spot size)φ1um，可量測(cè)微結(jié)構(gòu)表面形貌。
NH-3SPs 適合量測(cè)光學(xué)元件及超精密加工製程樣品之掃描式表面輪廓儀，多種倍率量測(cè)物鏡選擇及電動(dòng)鼻輪切換倍率，可拍照記錄量測(cè)位置，方便觀察並標(biāo)示出量測(cè)位置是否有缺陷。
NH-3SPs搭載微分干涉濾鏡，可觀察到Angstrom等級(jí)表面刮傷，高度量測(cè)可達(dá)到1nm光學(xué)尺保證精度。
量程X/Y/Z為150/150/10mm且三軸都用光學(xué)尺解析，樣品放置空間X/Y/Z為150/150/120mm，適合12KgW以下載重各種樣品量測(cè)需求，量測(cè)機(jī)可改造。獨(dú)特AF功能可偵測(cè)樣品球心、邊際、圓徑、溝寬。 MACRO量測(cè)軟體達(dá)到自動(dòng)化量測(cè)需求。
特色
- 適合量測(cè)材料：鑽石、透明、液態(tài)膠狀、石墨黑、陶瓷白…等表面輪廓
- 一次量測(cè)樣品同時(shí)解析幾何輪廓與表面粗度數(shù)據(jù)
- 適合量測(cè)樣品：精密光學(xué)鏡片，Wave guide輪廓，光阻輪廓
- 標(biāo)準(zhǔn)分析軟體：2D/3D輪廓及粗度分析、平面度分析
- 選購分析軟體：批次分析、2D/3D CAD比對(duì)軟體、非球面評(píng)價(jià)軟體
- 數(shù)據(jù)重現(xiàn)性佳
規(guī)格
| X軸 | Y軸 | AF(Z1)軸 （量測(cè)用） | Z2軸 （定位用） | ||
| 量測(cè)距離 | 150mm | 150mm | 10mm | 120mm | |
|---|---|---|---|---|---|
| 定位分辨率 | 0.01µm | 0.01µm | 0.001µm | 0.1µm | |
| 尺 | 光學(xué)尺 | 光學(xué)尺 | 光學(xué)尺 | 脈衝 | |
| 精度 | (0.5+2.5L/1000) µm | (0.5+2.5L/1000) µm | (0.1+0.3L/10) µm | (3+L/10) µm | |
| 顯微鏡光學(xué)系統(tǒng) | 光學(xué)系統(tǒng) | 無限遠(yuǎn)聚焦光學(xué) f = 180mm | |||
| 雷射聚焦尺寸(Spot) | ? 1µm(100X NA=0.8 WD=3.4mm)、 ? 2µm(50X NA=0.5 WD=10.6mm)、 ? 4µm(20X NA=0.4 WD=12mm)、 ? 15µm(10X NA=0.3 WD=11mm) | ||||
| 鼻輪 | 馬達(dá)控制 | ||||
| 自動(dòng)對(duì)焦 | 重現(xiàn)性 | σ=0.03µm（鏡面（樣品）表面） 使用100X | |||
| 雷射規(guī)格 | 半導(dǎo)體雷射(O/P: 1mW Max λ : 635nm class 2) | ||||
| 載物臺(tái) | XY平臺(tái)尺寸 | 284x240mm | |||
| 樣品高度 | 125mm | ||||
| 樣品重量 | 12kg | ||||
| 其他 | 儀器尺寸 | 1550x920x1610 mm | |||
| 避震器 | 氣浮式（空氣壓力：5kgf/cm2） | ||||
| 儀器重量 | 320kg | ||||
| 消費(fèi)電力 | 700W (100V 7A) | ||||
| AF軸（選購） | 15mm、20mm | ||||
| Z2軸（選購） | 光學(xué)尺精度 (1+2L/1200) um | ||||
高精度非球面量測(cè)
適配產(chǎn)品NH-3SP
NH-3SPs 屬於高精度多功能研究開發(fā)型表面3D輪廓量測(cè)儀器，載臺(tái)平面精度10/λ，XY軸光學(xué)尺定位精度0.01um，Z軸量測(cè)精度1nm光學(xué)尺保證精度。
量測(cè)應(yīng)用
- 精密光學(xué)：模仁與鏡片 面形幾何輪廓、CAD比對(duì)、粗度量測(cè)、非球面評(píng)價(jià)
- 半導(dǎo)體：光阻輪廓、光波導(dǎo)輪廓、表面粗度量測(cè)
非球面量測(cè)
非球面鏡屬於對(duì)稱形，量測(cè)面形是否對(duì)稱，可以參考下圖先掃描X軸方向輪廓，再旋轉(zhuǎn)樣品90度並掃描樣品Y方向輪廓。
非球面數(shù)據(jù)擬合：非球面擬合軟體具備下述功能，初始輪廓，設(shè)計(jì)式擬合、擬合。並可同時(shí)將X方向與Y方向數(shù)據(jù)疊合分析。
