產(chǎn)品說(shuō)明
採(cǎi)用點(diǎn)雷射自動(dòng)聚焦方式（符合ISO25178-605 Point Autofocus Probe量測(cè)原理），雷射聚焦樣品表面掃描，當(dāng)使用x100物鏡聚焦樣品表面時(shí)雷射光點(diǎn)尺寸(Spot size)φ1um，可量測(cè)微結(jié)構(gòu)表面形貌。
PF-150 適合6寸以下樣品掃描式表面輪廓儀，量程X/Y/Z為150/150/10mm且三軸都用光學(xué)尺解析，樣品放置空間X/Y/Z為200/200/100mm，適合12KgW以下載重各種樣品量測(cè)需求。
對(duì)於小尺寸陣列樣品量測(cè)，例如Micro Lens Array, Pattern Step Height…等，可加購(gòu)MACRO量測(cè)軟體達(dá)到自動(dòng)化量測(cè)需求。
元宇宙商機(jī)帶動(dòng)的AR鏡片、自由曲面鏡片F(xiàn)ree Form Lens，汽車(chē)使用抬頭顯示器鏡片HUD，PF-150提供良好的量測(cè)數(shù)據(jù)。
特色
- 適合量測(cè)材料：鑽石、透明、液態(tài)膠狀、石墨黑、陶瓷白…等表面輪廓。
- 一次量測(cè)樣品同時(shí)解析幾何輪廓與表面粗度數(shù)據(jù)
- 適合量測(cè)工件：陶瓷基板PATTERN線(xiàn)寬、線(xiàn)高程式自動(dòng)量測(cè)
- 標(biāo)準(zhǔn)分析軟體：2D/3D輪廓及粗度分析、平面度分析
- 選購(gòu)分析軟體：批次分析、2D/3D CAD比對(duì)軟體、非球面評(píng)價(jià)軟體
- 數(shù)據(jù)重現(xiàn)性佳
規(guī)格
| X軸 | Y軸 | AF(Z1)軸 （量測(cè)用） | Z2軸 （定位用） | ||
| 量測(cè)距離 | 150mm | 150mm | 10mm | 100mm | |
| 定位分辨率 | 0.1µm | 0.1µm | 0.01µm | 0.1µm | |
| 尺 | 光學(xué)尺 | 光學(xué)尺 | 光學(xué)尺 | 脈衝 | |
| 精度 | (2+4L/1000) µm | (2+4L/1000) µm | (0.3+0.5L/10) µm | ||
| 光學(xué)自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng) | 重現(xiàn)性 | σ=0.03µm（鏡面（樣品）表面） | |||
| 聚焦範(fàn)圍 | ? 1µm（搭配100X 物鏡） | ||||
| 雷射 | 半導(dǎo)體雷射(O/P: 1mW Max λ : 635nm class 2) | ||||
| 量測(cè)用物鏡 | 100X (WD=3.4mm NA=0.8) 觀察倍率:約1100倍（9吋螢?zāi)唬?/td> | ||||
| 定位用物鏡 | 5X滑動(dòng)機(jī)構(gòu)[視野範(fàn)圍] | ||||
| 落射照明 | 科勒照明（光源: 白LED） | ||||
| 其他 | XY平臺(tái)尺寸 | 244x240mm | |||
| 樣品高度 | 100mm | ||||
| 樣品重量 | 12kg | ||||
| 儀器尺寸 | 155x90x140cm | ||||
| 避震器 | 彈簧式（震盪<10 hz）=""> | ||||
| 儀器重量 | 210kg | ||||
菲涅爾鏡Fresnel Lens面形量測(cè)
適配產(chǎn)品PF-150
元宇宙帶動(dòng)虛擬實(shí)境(VR)、擴(kuò)增實(shí)境(AR)商機(jī)，菲涅爾鏡片是重要光學(xué)元件之一。 三鷹光器的量測(cè)儀器屬於非接觸形表面掃描輪廓儀，精準(zhǔn)聚焦樣品表面，大行程高精度的輪廓量測(cè)儀器，XY軸光學(xué)尺定位精度0.1um，Z軸量測(cè)精度10nm光學(xué)尺保證精度。 NH系列量測(cè)儀器可結(jié)合影像做XYZ座標(biāo)尺寸量測(cè)，或是表面輪廓掃描。
量測(cè)應(yīng)用
- 精密光學(xué)：HUD抬頭顯示器鏡片、FREE FORM自由曲面鏡片
- 元宇宙開(kāi)發(fā)metaverse：虛擬實(shí)境 VR(Virtual Reality)鏡片
- 擴(kuò)增實(shí)鏡 AR(Augmented Reality)
- CAD比對(duì)、粗度量測(cè)、非球面評(píng)價(jià)
- 半導(dǎo)體：光阻輪廓、光波導(dǎo)輪廓、表面粗度量測(cè)
光學(xué)鏡片輪廓批次量測(cè)
適配產(chǎn)品PF-150
圖一 部件說(shuō)明：1.工業(yè)級(jí)電腦與評(píng)估軟體。2.顯示器。3.自動(dòng)對(duì)焦量測(cè)系統(tǒng)。4.防震臺(tái)與控制器。
圖二 PF-150 機(jī)臺(tái)照片與將批次生產(chǎn)的光學(xué)鏡片放載臺(tái)上量測(cè)方法。
日本三鷹光器產(chǎn)品對(duì)於光學(xué)鏡片量測(cè)上優(yōu)勢(shì)
- 非接觸式量測(cè)，不劃傷鏡片。
- 批次量測(cè)，每片皆能自動(dòng)尋心。
- 座標(biāo)與即時(shí)影像觀察，掌握缺陷原因
PF-150量測(cè)方式依照ISO 25178-605點(diǎn)雷射自動(dòng)聚焦非接觸式探針?lè)⊕呙铇悠繁砻孑喞钆鋁-Y量測(cè)行程150mm的大範(fàn)圍，可將非球面鏡片直接批次置入載盤(pán)上（上如圖一所示）。
開(kāi)啟批次量測(cè)程式並執(zhí)行量測(cè)，量測(cè)儀器會(huì)依照程式步驟移動(dòng)至每個(gè)鏡片位置，並開(kāi)始進(jìn)行自動(dòng)尋心後掃描輪廓。掃描完成數(shù)據(jù)可帶入非球面分析軟體，執(zhí)行分析。
由於是非接觸式，量測(cè)過(guò)程不會(huì)造成鏡片刮傷，所以確認(rèn)鏡片數(shù)據(jù)OK後，僅需針對(duì)不良品進(jìn)行處置，良品無(wú)須再進(jìn)行量測(cè)後去刮痕重工（或報(bào)廢），即可釋放下一站進(jìn)行後續(xù)作業(yè)。
圖三 非球面分析輪廓擬合結(jié)果，面型PV值=0.15um,R.M.S= 0.2um
即時(shí)影像量測(cè)與缺陷檢出
即時(shí)影像觀察也協(xié)助量測(cè)發(fā)現(xiàn)異常品時(shí)，可以快速釐清原因。如下案例說(shuō)明，異物造成擬合PV值異常與清除後的PV值的結(jié)果。由於三鷹光器的量測(cè)設(shè)備的具備座標(biāo)與即時(shí)影像觀察功能。當(dāng)發(fā)現(xiàn)輪廓分析上有異常的數(shù)據(jù)時(shí)，可將鏡頭移動(dòng)至此處，進(jìn)行進(jìn)一步觀察與分析。此案例發(fā)現(xiàn)造成PV值異常的原因是因異物附著表面造成。後續(xù)針對(duì)鏡片進(jìn)行清潔，重新量測(cè)後發(fā)現(xiàn)PV明顯改善，並針對(duì)可能造成此異物產(chǎn)生的加工步驟加以製程進(jìn)行改善。
圖四 異物造成擬合PV異常的釐清案例。
更進(jìn)一步，上述案例移除異物後,表面觀察到損傷，也可以執(zhí)行進(jìn)一步分析損傷區(qū)域與未受損傷區(qū)域粗度差異，確認(rèn)損傷的程度是否可能對(duì)光學(xué)使用上造成影響。
圖五 鏡片表面損傷與否與Ra值差異比較
總和說(shuō)明，PF-150功能上除了面形測(cè)試外，更可以同時(shí)具有表面粗度量測(cè)的功能，除了單純的量測(cè)與評(píng)價(jià)外，更可以進(jìn)行異常分析，以釐清不良品的原因，並提供後續(xù)異常處裡所需要的評(píng)估數(shù)據(jù)。
