商品特色
- 一個步驟完成粗糙度和輪廓量測。
- 高的量測和定位速度可大幅減少量測時間。
- 刪除創(chuàng)新的測頭系統(tǒng)。
- 快速安全的測針更換,內建晶片。
- 長測量長度,高達 260 mm (MarSurf LD 260),測量行程 13 mm(100 mm 測針長度)或 26 mm(200 mm 測針長度)。
- 模組化設計,方便維護。
- 維護時無需*拆卸量測立柱。
商品規(guī)格
LD130 | LD260 | |
量測長度﹝Lt﹞ | 0.1~130 mm | 0.1~260 mm |
位移速度 | 0.02~200 mm/s | 0.02~200 mm/s |
量測速度 | 0.1 mm/s 至 10 mm/s;用於粗度量測,建議 0.1 mm/s 至 0.5 mm/s | |
解析度 | 0.8nm | |
測針量測範圍﹝Z﹞ | 13mm﹝100mm測針長度﹞ 26mm﹝200mm測針長度﹞ | |
量測力量 | 0.5~30 mN 透過軟體調整 |