XENOS 超高精度三次元
XENOS可在各類要求高測量精度的領(lǐng)域使用—從科研機(jī)構(gòu)的測量實驗室、航空和航太工業(yè)及光學(xué)工業(yè)。
![XENOS.jpg](https://img66.jc35.com/99c876c5d9ae48d91459e186c83ad36df805b9b0c1ae12a21edf7400d8004384c529a36f4fcca93b.jpg)
長度測量誤差E0
0.3 + L/1,000 μm
測量範(fàn)圍
X | Y | Z | |
9/15/7 | 900 | 1,500 | 700 |
創(chuàng)新的機(jī)械設(shè)計
XENOS採用了全新的機(jī)械設(shè)計理念。與標(biāo)準(zhǔn)橋式測量機(jī)不同:Y導(dǎo)軌分佈於側(cè)壁頂部,分離式移動行程軸僅橫樑於Y軸方向移動,更小及恒定的移動重量——與移動式平臺相比堪稱真正的優(yōu)勢。更低及恒定的移動重量造就了加速及高速的統(tǒng)一。
所有軸均採用線性驅(qū)動
XENOS的所有軸均採用線性驅(qū)動。其優(yōu)點:高速、加速極快、定位精度高。結(jié)合超高解析度光學(xué)尺技術(shù),XENOS的線性驅(qū)動可獲得高度穩(wěn)定性及低於100奈米的極高定位精度。
模擬型驅(qū)動
XENOS於Y軸向配備雙線性驅(qū)動系統(tǒng),得益於蔡司的驅(qū)動技術(shù)可實現(xiàn)優(yōu)異的同步控制。該技術(shù)可據(jù)X軸位置分佈驅(qū)動力。作為控制系統(tǒng)及演算法之結(jié)合,這是在整個測量範(fàn)圍內(nèi)獲得優(yōu)異的測量精度及運動穩(wěn)定性的關(guān)鍵因素。
碳化矽陶瓷
XENOS在與精度密切相關(guān)的機(jī)器部件上採用創(chuàng)新的碳化矽陶瓷材料。迄今為止,該材料從未在類似產(chǎn)品或精度的測量機(jī)器上得到使用。與常規(guī)陶瓷相比,碳化矽陶瓷的熱膨脹性降低約50%,而剛性則可提升30%,同時減重20%。與鋼材相比,碳化矽陶瓷重量降低50%而竟仍可獲得兩倍的剛性。
加強(qiáng)型VAST gold
XENOS採用蔡司VAST gold測量探頭。在研發(fā)過程中,蔡司在測量精度和測量重複度方面對該探頭進(jìn)行了優(yōu)化。XENOS也採用了新型剛性連接。VAST gold探頭可與長度可達(dá)800毫米的測針以及重量高達(dá)500克的測針配套使用,包括非對稱型測針。
優(yōu)質(zhì)化的氣浮軸承
全新強(qiáng)化處理氣浮軸承具有優(yōu)異的穩(wěn)定性及測量精度。