海德漢HEIDENHAIN LB382C讀數(shù)頭互成影響
海德漢HEIDENHAIN LB382C讀數(shù)頭互成影響
一種外差光柵位移測(cè)量裝置,包括光源、讀數(shù)頭、光電接收模塊和信號(hào)處理系統(tǒng),光源用于產(chǎn)生兩束重合、偏振正交且具有固定頻差的偏振光;讀數(shù)頭用于接收兩束偏振光,并分別入射到移動(dòng)的測(cè)量光柵的表面生成分別包括偏振光分量與第二偏振光分量的+1級(jí)衍射光和?1級(jí)衍射光,+1級(jí)衍射光和?1級(jí)衍射光分別經(jīng)讀數(shù)頭入射到光電接收模塊;光電接收模塊用于接收+1級(jí)衍射光的偏振光分量和第二偏振光分量及?1級(jí)衍射光的偏振光分量和第二偏振光分量形成兩路拍頻信號(hào);信號(hào)處理系統(tǒng)用于對(duì)兩路拍頻信號(hào)進(jìn)行差分計(jì)算,實(shí)現(xiàn)測(cè)量光柵單次衍射4倍光學(xué)細(xì)分的位移測(cè)量