產(chǎn)品描述
此產(chǎn)品為PK1L60-080U升級產(chǎn)品,具有起相同的功能。顯微鏡中的物鏡對準通常需要一個開放的中心孔(例如,用于光線通過),PK1L70-080U壓電掃描臺(帶有35mm的中心孔)是針對此類應(yīng)用而開發(fā)的,每個軸都經(jīng)過機械預加載。*的產(chǎn)品設(shè)計非常緊湊,在X運動軸上的運動可達80µm(閉環(huán)),并且由于柔性機械設(shè)計而實現(xiàn)了無間隙的平行運動。
可以選擇使用集成的SGS測量系統(tǒng)來克服遲滯的影響,并且PK1L70-080U定位系統(tǒng)可以配備電容測量系統(tǒng),PK1L70-080U壓電掃描臺可以輕松地與其他機械定位系統(tǒng)結(jié)合使用。
PK1L70-080U系列非常適合從光學研究到OEM系統(tǒng)的各種應(yīng)用。
本系列產(chǎn)品種類包括X、Z、XZ、XY、XYZ軸運動系統(tǒng)版本。請參照相關(guān)型號介紹。
選配功能
—可定制轉(zhuǎn)接裝置及中心孔徑大小
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系
—可選擇Z、XZ、XY、XYZ軸版本
應(yīng)用領(lǐng)域
—光纖定位
—鏡頭聚焦
—掩模、晶圓定位
—干涉法測量技術(shù)
—納米操縱
結(jié)構(gòu)原理 疊堆形式 典型應(yīng)用
PK1L70-080U系列技術(shù)參數(shù)