產品描述
PS3L45-030U系列是具有納米級定位分辨率的高速,多軸,精密納米定位系統(tǒng)。本系列產品提供的多功能性,可以配置XY或XYZ運動并擁有獨立的Z/X軸運動產品。可選配內部位置傳感器進行閉環(huán),可進行重復的位置測量。
超薄型設計,外形尺寸僅有45x45x23.5mm,具有體積小巧,高穩(wěn)定性,高精度使其非常適合需要低噪聲和高速性能的計量應用。適用于空間需求的多軸運動定位場合。參數可根據客戶要求定制。
PS3L45-030U系列納米位移臺內部可集成SGS位置傳感器,閉環(huán)采用全閉環(huán)設計,高精度柔性系統(tǒng),具有零摩擦等特點,使其具有更高的定位精度及線性精度。
壓電位移臺可提供SGS傳感器反饋或無反饋(開環(huán))。 對于需要緊湊的尺寸,高動態(tài)性和亞納米級的定位分辨率,但又不需要的定位精度和可重復性的應用,開環(huán)提供了一種經濟高效的選擇。 在通過外部反饋源(干涉儀,視覺系統(tǒng),光電探測器等)控制壓電位置的情況下,也可以使用開環(huán)設計。
選配功能
—可定制孔位及轉接裝置
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系
—可提供X/XY/XZ版本
應用領域
—原子力顯微鏡、掃描探針顯微鏡
—測量、計量
—光學探針、光學掃描、光束對準
—微流體技術
結構原理 位移特性 典型應用
PS3L45-030U系列技術參數