產(chǎn)品描述
PSVL40-080U緊湊型線性納米定位臺,沿Z方向可提供100μm或更大行程的運動。其緊湊的設計使其成為許多光子學和光纖定位應用的理想工具。Z軸納米定位線性位移臺是基于壓電壓電陶瓷驅(qū)動的線性位移臺,本系列產(chǎn)品包含X、XY、XZ、XYZ產(chǎn)品可供用戶選擇。
該系列納米位移臺采用高可靠多層低壓壓電疊堆陶瓷作為驅(qū)動元件,利用有限元優(yōu)化的集成態(tài)撓性導向系統(tǒng)可確保的平行運動。由于采用了無摩擦柔性機構,壓電位移臺無需維護,無磨損,并具有快速響應和快速穩(wěn)定的性能,使其適用于動態(tài)過程,例如高頻誤差補償,跟蹤,快速步進或連續(xù)掃描。閉環(huán)版本具有高分辨率應變片式位置傳感器,可實現(xiàn)高精度和可重復的運動,還可以補償壓電陶瓷的的蠕變。傳感器采用全閉環(huán)電橋設計。它可以在開環(huán)或閉環(huán)控制中運行。
壓電平臺固定是通過移動面和底板上的螺紋孔實現(xiàn)的。若要安裝到具有標準柵格的光學平臺或其他組件上,請使用轉(zhuǎn)接板轉(zhuǎn)接。在緊固過程中,應避免過大的彎矩載荷和作用在移動面與外殼之間的側向力,這些外力可能會損壞位移臺。
選配功能
—可定制轉(zhuǎn)接裝置
—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度
—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系
—定制安裝轉(zhuǎn)配孔
應用領域
—顯微鏡、生物技術
—納米定位、測試應用
—半導體技術
—光子、光纖定位
結構原理 響應特性 典型應用
PSVL40-080U系列技術參數(shù)