產(chǎn)品特點(diǎn)及優(yōu)勢(shì):
★精細(xì)線路加工專門機(jī)型,最小解析能力可達(dá)15/15μm,滿足mSAP工藝需求
★搭配自主的超級(jí)算法的DMD控制系統(tǒng),成就高解析度高效率加工
★曝光工序全數(shù)字化作業(yè),跨入工業(yè)4.0智能制造
曝光尺寸
大臺(tái)面:24.5""×28.5”
標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)面:22""×24.5"板厚
單機(jī):0.05-5.0mm
連線:0.075-2.5mm對(duì)位精度
±10 µm
層間對(duì)位精度
±20 µm
光源
405nm
景深
±300 µm
線寬精度
±10%
適配性
適配于智能制造系統(tǒng)
外形尺寸(連線,含收放板)
8542mm X 3200mm X 2200mm(L X W X H)
外形尺寸(單機(jī))
3010 X 1898 X 2200(L X W X H)
承重需求
750KG/㎡
電力需求
3*380AC+N+P,80A
耗電功率
單機(jī)4KW/整機(jī)9KW
環(huán)境溫濕度
22±1℃/55±5%
環(huán)境潔凈度
Class 10000