★優(yōu)化標(biāo)靶識(shí)別系統(tǒng)的內(nèi)層高效曝光專門機(jī)型
★聯(lián)線加工效率高達(dá)10000片/天
★高精度、層間對(duì)準(zhǔn)度,滿足精細(xì)線路加工
★曝光工序全數(shù)字化作業(yè),跨入工業(yè)4.0智能制造
曝光尺寸
大臺(tái)面:24.5"×28.5"
標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)面:22"×24.5"
層間對(duì)位精度
±25µm
光源
405nm
板厚
單機(jī):0.05-5.0mm
連線:0.075-2.5mm
景深
±300µm
線寬精度
±10%
對(duì)位精度
±12µm
適配性
適配于智能制造系統(tǒng)
生產(chǎn)效率
單機(jī):420面/小時(shí)
連線:10000panels/day