旋轉(zhuǎn)精度0.04 μm(JIS B7451 )
立柱直線度精度1.3 μm/700 mm
(700 mm長軸測量具使用)
在行業(yè)內(nèi)在X、Y、Z、θ各軸采用高
精度空氣軸承
此外,立柱、基座、R軸使用的是輝長巖,隨使用時間發(fā)生的變化小。
長期保證的高精度。
搭載全自動7軸控制功能
保證XY工作臺、R軸的直線度精度
通過保證工作臺的直線度精度,可測量缸體那樣的缸孔間的平行度。
驅(qū)動速度100 mm/sec、
縮短測量數(shù)據(jù),提高效率
實現(xiàn)多個工件的全自動測量
零件測量程序自動調(diào)用功能(選配)
承載重量 可對應(yīng)1噸(選配)
Z軸行程 可對應(yīng)1500mm(選配)