激光干涉儀
01 激光干涉儀
- LM-20激光干涉儀以氦氖激光器產(chǎn)生的激光波長為基礎(chǔ)，應(yīng)用高穩(wěn)定度的激光穩(wěn)頻率技術(shù)，獲得作為測量基準(zhǔn)的高精度激光波長；同時使用高精度溫度、大氣壓力、濕度傳感器進(jìn)行測量環(huán)境的補償；并通過與外部光學(xué)鏡組配合，實現(xiàn)高精度、可重復(fù)、可溯源的相關(guān)幾何參數(shù)精度測量，是數(shù)控機(jī)床和坐標(biāo)測量機(jī)等精密設(shè)備校準(zhǔn)的理想工具。LM-20激光干涉儀延續(xù)GDLM-10激光干涉儀的高精度測量性能，同時優(yōu)化了機(jī)械結(jié)構(gòu)和使用性能。
02 測量的基本原理
- 01.LM-20激光干涉儀的激光頭發(fā)射出光波，經(jīng)過分光鏡后光波被分成兩束；
- 02.固定角錐反射鏡和移動角錐反射鏡分別將光波反射回分光鏡；
- 03.兩列相干光波相遇疊加，在疊加區(qū)域某些點的光振動始終加強(qiáng)，某些點的光振動始終減弱，即在干涉區(qū)域內(nèi)振動強(qiáng)度有穩(wěn)定的空間分布；
- 04.最終在光靶上形成了明暗相間的干涉條紋，當(dāng)兩束滿足干涉條件的光路徑發(fā)生相對變化時（即移動角錐反射鏡時），其干涉條紋也將發(fā)生變化，利用特殊的計數(shù)裝置對干涉條紋進(jìn)行計數(shù)，就可以知道移動角錐反射鏡的位置變化量，從而實現(xiàn)對線性位移進(jìn)行測量的目的。
03 產(chǎn)品優(yōu)勢
- 高激光頻率穩(wěn)定度
- 激光穩(wěn)頻標(biāo)稱精度±0.05ppm，實際計量結(jié)果 0.02ppm，為激光干涉儀測量提供高精度基準(zhǔn)。中國計量科學(xué)研究院是的計量檢測機(jī)構(gòu)，激光干涉的檢定數(shù)據(jù)均來自于中國計量科學(xué)研究院。 精密的環(huán)境參數(shù)測量能力
- 環(huán)境溫度測量標(biāo)稱精度±0.1℃，實際計量結(jié)果-0.02℃-+0.06℃；材料溫度測量標(biāo)稱精度±0.1℃，實際計量結(jié)果+0.01℃-+0.06℃；大氣壓力測量標(biāo)稱精度±100Pa，實際計量結(jié)果+40-+66.7Pa；環(huán)境濕度測量精度±5%。為激光干涉儀的環(huán)境補償算法提供精準(zhǔn)的環(huán)境參數(shù)變化。 高測量精度
- 線性定位測量標(biāo)稱精度±0.5um/m（±0.5ppm），實際計量結(jié)果+0.08-+0.47um/m，高測量精度使激光干涉儀可以作為高精度的校準(zhǔn)設(shè)備。
04 產(chǎn)品特點1
- 高測量速度；4m/s的測量速度，滿足幾乎所有的測量應(yīng)用。
- 快速啟動：約6分鐘的啟動預(yù)熱時間，便于測量現(xiàn)場的快速使用。
- 長測量距離：長達(dá)20m的測量能力，滿足大多數(shù)的測量要求。
05 產(chǎn)品特點2
- 高測量分辨率：可選的測量分辨率，1nm。
- 觸發(fā)式測量：適合在待測機(jī)器移動時記錄測量值，測量效率高。
- 多種國際分析標(biāo)準(zhǔn)供選擇：方便用戶選擇自己需要的分析標(biāo)準(zhǔn)，進(jìn)行多種分析。
06 核心組件（激光頭）
- 激光的穩(wěn)頻，發(fā)射接收及相關(guān)后續(xù)處理；環(huán)境傳感器數(shù)據(jù)的接收，上位機(jī)軟件的交互。
07 核心組件（環(huán)境傳感器）
- 用于測量環(huán)境溫度，材料溫度，環(huán)境濕度及大氣壓力；測量得到的環(huán)境數(shù)據(jù)用于干涉儀的精密補償。
08 核心組件（測量鏡組）
- 1、線性鏡組：用于進(jìn)行線性測量的光學(xué)套件；2、角度鏡組：用于進(jìn)行角度及旋轉(zhuǎn)測量的光學(xué)套件。
09 相關(guān)組件
參數(shù)
PARAMETER
LM-20激光干涉儀技術(shù)參數(shù)表
| 性能參數(shù) | 光學(xué)參數(shù) |
|---|---|
| 激光頻率穩(wěn)定度 ±0.05ppm | 激光功率 ≤1mw |
| 線性定位精度 ±0.05um/m±0.05ppm） | 激光對準(zhǔn)范圍 ±2° |
| 分辨率 1nm | 光斑直徑 6mm |
| 測量速度 ≤4m/s | 激光穩(wěn)定時間 約6min |
| 測量距離 ≤20m |
環(huán)境傳感器組件參數(shù)表
| 名稱 | 參數(shù) |
|---|---|
| 環(huán)境傳感器組件 內(nèi)部傳感器 | 1個空氣濕度傳感器 1個空氣壓力傳感器 |
| 外部傳感器 | 1個空氣濕度傳感器 1-3個材料溫度傳感器 |
| 接口 | 專用線纜直接連接激光干涉儀 |
| 供電 | 激光干涉儀供電 |
| 精度參數(shù)及范圍 | 測量范圍 | 測量精度 |
|---|---|---|
| 環(huán)境溫度傳感器 | 0℃-50℃ | ±0.1℃ |
| 材料溫度傳感器 | 0℃-50℃ | ±0.1℃ |
| 大氣壓力傳感器 | 60KPa-120KPa | ±100pa |
附件參數(shù)表
| 規(guī)格 | 參數(shù) |
|---|---|
| 便攜箱尺寸 | 便攜箱尺寸 559 x 351 x 229 mm |
| 系統(tǒng)重量 | 12-18kg |
| 三腳架折疊后尺寸 | 590mm |
| 三腳架工作高度范圍 | 350-1650mm |
線性測量
| 規(guī)格 | 公制 | 英制 |
|---|---|---|
| 線性測量長度范圍 | 20m | 800 in |
| 測量精度 | ±0.5um/m（±0.5ppm） | |
| 分辨率 | 0.001um | 0.1uin |
角度測量
| 規(guī)格 | 公制 | 英制 |
|---|---|---|
| 軸向量程 | 15 m | 590 in |
| 角度測量范圍 | ±175mm/m | ±10° |
| 精度 | ±0.002A±0.5±0.1M微弧度 ±0.0002A±0.5±0.1M微弧度 | ±0.002A±0.1±0.007F角秒 ±0.0002A±0.1±0.007F角秒 |
| 分辨率 | 0.1um/m | 0.01角秒 |
| 溫度范圍：20℃±5℃ A=顯示的角度度數(shù)；M=以米來計的測量距離；F以英尺來計的測量距離 | ||
旋轉(zhuǎn)測量
| 規(guī)格 | 公制 | 英制 |
|---|---|---|
| 角度目標(biāo)量程 | 0-360° | |
| 測量精度 | ±5um/m | ±1角秒 |
| 軸轉(zhuǎn)速 | 2rpm | |
| 方向 | 任意 | |
