激光尺
01 LE系列激光尺
- LE系列激光尺采用激光干涉測量技術(shù)，以高穩(wěn)定度的激光波長為基準，實現(xiàn)高精度、高分辨率的直線位移測量；
- LE系列激光尺采用*的熱控制穩(wěn)頻技術(shù)將激光穩(wěn)頻精度保持在±0.05ppm。精確穩(wěn)定的激光源和精準的環(huán)境補償，保證±0.5um/m的測量精度；
- LE系列激光尺可以實現(xiàn)長達20m的精確測量，在長距離測量應(yīng)用上有突出的優(yōu)勢；4m/s的測量速度，可滿足幾乎所有的測量應(yīng)用；測量分辨率可配置，為1nm。
02 應(yīng)用案例及領(lǐng)域
- 科德數(shù)控股份有限公司生產(chǎn)的KGHM2560U高速橋式龍門機床，X軸全行程6m，配置LE系列激光尺作為全閉環(huán)反饋，定位精度達到6um，重復(fù)定位精度達到3um；
- LE系列激光尺可用于精密機床、半導(dǎo)體精密加工設(shè)備、測量機等其他需要高精度直線位置反饋的應(yīng)用場合。
參數(shù)
PARAMETER
| 項目 | 名稱 | 參數(shù) |
|---|---|---|
| 性能參數(shù) | 激光頻率穩(wěn)定度 線性定位精度 分辨率 測量速度 測量距離 | ±0.05ppm ±0.5um/m（±0.5ppm） 1nm 可配置 4m/s 20m |
| 工作條件 | 工作溫度 工作壓力 工作濕度 | 0℃~40℃ 60KPa~120KPa 0%~95% 非冷凝 |
| 激光參數(shù) | 激光波長 激光功率 激光穩(wěn)定時間 出射光斑直徑 | 632.8nm ＜1mw ≈10min 6mm |
| 環(huán)境補償傳感器 | 環(huán)境溫度測量精度 大氣壓力測量精度 大氣濕度測量精度 材料溫度測量精度 | ±0.1℃ ±100Pa ±5% ±0.1℃ |
| 電氣特性 | 電源電壓 電源電流 調(diào)試接口 位置數(shù)據(jù)反饋接口 通用I/O接口 | 24V±10% 2.0A USB RS422/RS485 串行數(shù)據(jù)：BISS_C 增量數(shù)據(jù)：TTL增量方波、1Vpp弦波 24V帶隔離通用I/O點 |
