AXYR 三軸一體式精密電動滑臺
AXYR 三軸一體式精密電動滑臺
型號 | AXYR60-A2PR-ND | AXYR80-A2PR-ND | AXYR120-A2PR-ND |
AXYR60-A2PL-ND | AXYR80-A2PL-ND | AXYR120-A2PL-ND | |
臺面尺寸 | Ø60 | Ø80 | Ø120 |
移動行程X軸 | ±7.5mm | ±12mm | ±15mm |
移動行程Y軸 | ±7.5mm | ±12mm | ±15mm |
移動行程θ軸 | ±8.5° | ±10° | |
傳動方式 | 螺桿傳動 | ||
軌道XY軸 | 交叉滾柱導引式 | ||
軌道θ軸 | 滾珠循環(huán)式 | ||
滑臺材質(zhì)/表面處理 | 鋁合金/黑色陽極處理 | ||
精度等級 | P:精密型 | ||
馬達方向 | R: 右側(cè)安裝 / L:左側(cè)安裝 | ||
XY軸解析度(脈沖)Full/Half | 5μm / 2.5μm | ||
θ軸解析度(脈沖)Full/Half | 0.0056°/0.0028° | 0.0047°/0.0023° | 0.0034°/0.0017° |
XY軸速度(全步級) | 10mm/sec | ||
θ軸速度(全步級) | 8°/sec | ||
XY軸單向定位精度 | 10μm | ||
XY軸反復定位精度 | ±1μm | ||
θ軸單向定位精度 | 0.05° | ||
θ軸反復定位精度 | ±0.01° | ||
荷重 | 6kgf | 10kgf | 25kgf |
XY軸空轉(zhuǎn) | 2μm | ||
θ軸空轉(zhuǎn) | 0.01° | ||
平行度 | 20μm | 30μm | |
運動同心度 | 20μm | ||
運動平行度 | 10μm | 15μm | |
馬達類型 | 2MS-N28D32A | 2MS-N28D45A | |
馬達廠牌 | GMT |