GAS01系列
GAS01系列
型號 | 工作臺面尺寸 (mm) | 基座尺寸 (mm) | 行程 (mm) | 角度(θ) | 水平負(fù)載能力 (kgf) | 反復(fù)定位精度(um) |
GAS01-250CC | 250x250 | 350x350 | ±5x±5 | ±3° | 80 | UP:±1 |
GAS01-250RS | 250x250 | 350x350 | ±5x±5 | ±3° | 100 | UP:±1 |
GAS01-350CC | 350x350 | 450x450 | ±5x±5 | ±2° | 80 | UP:±1 |
GAS01-350RS | 350x350 | 450x450 | ±5x±5 | ±2° | 100 | UP:±1 |
特性介紹 |
♦ 採用了劃時代性模組結(jié)構(gòu)的超薄型平臺 在基座、工作臺之間的四端平面裝上組合了MINI STAGE XYθ軸滑臺組和特殊交叉滾柱軸承的模組之*性,實現(xiàn)了超薄型結(jié)構(gòu)。 ♦ 高剛性、高精度 對于構(gòu)成模組的MINI STAGE XYθ軸滑臺組的特殊交叉滾柱施加了預(yù)壓,達(dá)到高精度、高剛性的結(jié)構(gòu)。 ♦ 超薄型、輕量化、中空結(jié)構(gòu) 採用XYθ模組化結(jié)構(gòu),實現(xiàn)了無中座、薄而輕的機(jī)構(gòu),可作為光學(xué)式檢查裝置或?qū)y試時使用。 ♦ 潤滑系統(tǒng) 在各種運(yùn)動軌道加入潤滑系統(tǒng),確保潤滑脂補(bǔ)充,提高對位平臺使用的壽命及精度。 ♦ 尺寸齊全 適用各種機(jī)型運(yùn)用 工作臺面尺寸口100mm~口1500mm,為了可以對應(yīng)更大的精度荷載,可藉由增加從動模組之?dāng)?shù)量來達(dá)成。
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產(chǎn)業(yè)應(yīng)用介紹 |
♦ 面板貼合機(jī) ♦ 面板貼膜機(jī) ♦ 網(wǎng)版及3D網(wǎng)版印刷 ♦ 玻璃側(cè)角及磨邊設(shè)備 ♦ Wafe對位設(shè)備 ♦ P.C.D曝光設(shè)備 ♦ 軟體裁切設(shè)備 ♦ 半導(dǎo)體設(shè)備 |
結(jié)構(gòu)說明 |
動作原理 |
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