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適用于厚膜、薄膜電阻的激光調(diào)阻,電子電路的功能修調(diào)、輸出信號的修調(diào)。廣泛應(yīng)用于厚膜電路、汽車電子、傳感器等領(lǐng)域。設(shè)備配置高,適合大規(guī)模量產(chǎn)。
適用厚膜電路調(diào)阻,電子模塊功能修調(diào)
高精度,高速度,高可靠性
訂制的激光器,切口質(zhì)量高
直線電機(jī)XY平臺分步重復(fù)
消色差成像技術(shù),圖像識別功能
矩陣測量系統(tǒng),配備IEEE-488(GPIB)接口
強(qiáng)大軟件編程功能,滿足各種不同應(yīng)用
主要技術(shù)參數(shù)
激光系統(tǒng) | 型號規(guī)格 | LT7130/G/U | |
激光波長 | 1064nm/532nm/355nm | ||
激光功率 | 10W | ||
典型光斑尺寸 | 35±5µm | ||
對焦方式 | 自動(dòng),計(jì)算機(jī)程序控制 | ||
冷卻方式 | 水冷 | ||
激光束定位系統(tǒng) | 激光束運(yùn)動(dòng)范圍 | 60mm X 60mm | |
運(yùn)動(dòng)分辨率 | 0.76µm | ||
重復(fù)定位精度 | ±2.5µm | ||
分步重復(fù)運(yùn)動(dòng)系統(tǒng) | 運(yùn)動(dòng)方式 | 平面電機(jī)或直線電機(jī) | |
運(yùn)動(dòng)范圍 | 290mm*260mm | ||
重復(fù)定位精度 | ±1µm | ||
運(yùn)動(dòng)速度(空載) | 900mm/s | ||
測量系統(tǒng) | 電阻測量方式 | 四線制測量或二線制測量 | |
電阻測量精度 | 中阻 ± 0.02% | ||
電阻測量范圍 | 0.1Ω-100MΩ | ||
測量速度 | 25µs/次 | ||
零點(diǎn)及滿程誤差校正 | 自動(dòng)校正 | ||
探針定義 | 可編程任意設(shè)定 | ||
探針板運(yùn)動(dòng) | 自動(dòng)、計(jì)算機(jī)程序控制 | ||
探針板規(guī)格 | 標(biāo)準(zhǔn)P48 |