SHP8400 PMS過程氣體質(zhì)譜分析儀儀器特點

l動態(tài)、連續(xù)取樣，實時、在線氣體分析；響應(yīng)速度快，數(shù)據(jù)分析功能強大。

l有機架式和臺式兩種機型可選，充分考慮到在線分析的需要。

l采用電磁閥或多通旋轉(zhuǎn)閥進行過程中的多氣路切換，實現(xiàn)多點、多組分自動監(jiān)測，結(jié)構(gòu)輕巧，方便快捷。

l采樣和前處理裝置可根據(jù)需求量身定制，方便實現(xiàn)調(diào)壓、過濾、除濕、加熱等功能。

l可控制溫度的進氣管道，防止過程氣體在采樣過程中冷凝。

l雙燈絲，并配有燈絲保護裝置，大程度的延長燈絲的使用壽命。

l快速自動校準，包括背景校準、碎片校準、電離靈敏度校準。

l人性化的任務(wù)管理功能，用戶可以自定義設(shè)置分析任務(wù)。

l結(jié)果數(shù)據(jù)輸出采用DDE和OPC方式，與其它軟件系統(tǒng)優(yōu)異兼容。

l具備網(wǎng)絡(luò)接口，可實現(xiàn)遠程控制。

SHP8400 PMS過程氣體質(zhì)譜分析儀技術(shù)參數(shù)

l質(zhì)量數(shù)范圍：1-100 amu，1-200 amu，1-300amu

l響應(yīng)時間：ms

l小檢測分壓：5×10-11 Torr（FC）

                               5×10-14 Torr（CDEM）

l檢出限：≤10ppm（FC）

l操作溫度：≤70℃

l取樣壓力：≤5 bar（有特殊需求者可訂制）

l質(zhì)量分析器：四極桿（Quad）

l檢測器：法拉第筒（FC），電子倍增器（CDEM）可選

l離子源：電子轟擊 （EI）源;

硬件結(jié)構(gòu)

l結(jié)構(gòu)精巧的多通道電磁閥實現(xiàn)進樣的自動控制。體積小，切換速度快，且通道數(shù)目可按用戶需求增減；利用輔助泵縮短氣體滯留時間，確保的分析結(jié)果。

l多通機械旋轉(zhuǎn)閥死體積小，質(zhì)量可靠。

l電子轟擊離子源，通用性強、譜圖結(jié)構(gòu)信息豐富。

l精加工的四極桿質(zhì)量分析器和高精度安裝調(diào)試技術(shù)保證近軸電場穩(wěn)定，達到水平。

l系統(tǒng)內(nèi)部合理優(yōu)化的散熱流路設(shè)計。

l分子泵和質(zhì)量分析器采用不同的減震措施，確保儀器運行的高可靠性。

l真空系統(tǒng)依不同應(yīng)用領(lǐng)域需求不同配置。

軟件功能強大

l新一代用戶界面（Fluent/Ribbon界面）：降低用戶操作難度，減少培訓時間。

l全面的標準化和開放性：軟件的數(shù)據(jù)儲存格式和內(nèi)部交換格式均采用通用的工業(yè)標準（xml和csv）；數(shù)據(jù)發(fā)布采用DDE、OPC兩種方式。

l引入“方法”和“任務(wù)”概念，實現(xiàn)分析過程全盤自動化。

l軟件的開發(fā)基于舜宇恒平儀器的統(tǒng)一儀器軟件開發(fā)平臺SHPS1.2。

l支持長時間不間斷在線分析。

l多路進樣通道、通過自動方法切換，支持多路不同樣品同時在線檢測。

在線氣體處理裝置

在線分析器長期連續(xù)、實時的檢測分析，必然要求取樣的連續(xù)性和嚴格的樣氣處理技術(shù)，要求樣氣的真實和傳輸快速，使得樣氣在進入分析器時，要達到近于標準氣的品質(zhì)。由上海舜宇恒平科學儀器有限公司生產(chǎn)的在線樣氣處理裝置，確保在線分析系統(tǒng)長期連續(xù)運行的可靠性和安全性，以及近于免維護的易維護性。

l創(chuàng)新的多通道樣氣處理技術(shù)

l自動化程度高，反應(yīng)速度快

l具備除塵、除濕、除泡沫、加熱及調(diào)壓功能

l特殊要求（如防爆、冷凝除濕、冶金行業(yè)應(yīng)用等）及通道數(shù)目可訂制

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體行業(yè)/冷媒檢漏

真空檢漏

石油化工

冶金煉鋼

環(huán)境監(jiān)測