本在線film膜厚測試儀應用在透明及半透明材料的厚度或涂層的測量,包括半導體鍍膜,光刻膠,玻璃減反膜測量,藍寶石鍍膜,ITO玻璃,太陽能鍍膜玻璃,各種襯底上的膜厚,膜的顏色測量,卷對卷柔性涂布,其他需要測量膜厚的場合等,無論有無底材或者底材是何種材料均無影響。應用在精密半導體wafer,ITO玻璃,fpc或pcb膜厚,材料表面光學鍍膜,電鍍陽極處理,UV膠厚等領(lǐng)域。
原理介紹:
利用光譜反射測量PET涂布的膜厚和涂層厚度
質(zhì)量控制,生產(chǎn)過程控制
用于PET涂布膜厚和涂層檢測
軟件特點:
1、菜單管理
2、實時在線監(jiān)控和歷史數(shù)據(jù)界面
3、可根據(jù)客戶要求定制界面
運動機械配置:
X軸測量 | 自動 |
測量寬度 | 2m(可根據(jù)客戶要求調(diào)整) |
X軸移動速度 | 0.1m/s |
單向掃描時間 | 18秒測18個點(標準) |
馬達傳動系統(tǒng) | 1套 |
大型滑軌 | 2.0m(可根據(jù)用戶要求調(diào)整) |
大支架 | 1套 |
控制箱+線槽 | 1個(PCB板,連線,電源,路由器) |
電腦配置
網(wǎng)線 | 25米超5類線 |
網(wǎng)絡適配器 | 路由器+其他網(wǎng)絡配件 |
電腦(臺式機一臺) | 19寸TFT顯示屏, Intel CPU ,鼠標+鍵盤+3年保質(zhì)期 |
測量系統(tǒng)配置
反射(0度入射角)配件 | 光學器件,光源, 特殊機械配件, 光纖光譜儀,光纖, 硅片 |
技術(shù)參數(shù)(光學部分):
測試方式 | 膜面反射 |
波長范圍 | 380-820(可見光)濕膜/380-1050(可見光),干膜 |
厚度測量范圍 | 100納米-200微米(可見光) |
精度 | 0.5%(30次單點測量1階標準差) |
測量單點時間 | 小于1秒 |
測量點 | 1mm (0度角反射) |
光源和壽命 | 鎢鹵素燈 平均預期壽命10,000小時 |
操作環(huán)境 | 5-35度;5-90%不結(jié)霜 |
入射角 | 0度角 |
表中的性能指標還和材料,膜層結(jié)構(gòu),粗糙度等有關(guān)
軟件
1套 | 一套測量軟件和膜厚仿真擬合軟件 |
軟件系統(tǒng)功能:
1、光譜反射,計算出膜厚參數(shù); |
2、系統(tǒng)有手動、自動、系統(tǒng)校準模式。手動模式時,可在計算機上控制測量,膜到位后,按測量按鈕即測量該點的光譜膜厚;自動測量模式時在膜到位后進行自動測量;系統(tǒng)校準模式時,檢查系統(tǒng)設置,硬件狀態(tài)等。 |
3、膜厚度的歷史趨勢曲線,豐富的公差和報警閾值設定功能,如可設定公差帶和報警閾值。 |
4、存儲、管理測量系統(tǒng)的測量結(jié)果,方便回溯 |
5.仿真不同角度的膜面反射反射光譜曲線。可用于膜系開發(fā)。 |
6、具有數(shù)據(jù)人工備份功能,以防數(shù)據(jù)意外丟失;系統(tǒng)安裝完畢后,提供系統(tǒng)備份硬盤,防止原始系統(tǒng)意外損壞; |
7、打印顏色參數(shù)掃描曲線,數(shù)據(jù)表,打印光譜曲線,打印屏幕圖像等功能; |
8、系統(tǒng)全部操作均在控制室內(nèi)計算機上完成。 |