主要特點:
1、設備采用高照度、高均勻性的365納米紫外光學系統(tǒng),實現(xiàn)最小1um光刻分辨率(可根據(jù)客戶需求定制、可選用LED光源)
2、采用接近式的工作方式(可選接觸式、真空式),雙工位全自動上下料、24小時持續(xù)生產(chǎn),產(chǎn)能處于水平
3、*的電源調(diào)節(jié)系統(tǒng)配合電驅動式光源調(diào)節(jié)系統(tǒng),可連續(xù)不間斷調(diào)節(jié)曝光功率,適配多種生產(chǎn)場景需求
4、搭載高精度CCD相機,實現(xiàn)正面1um精確對位,精密的掩膜版/光刻膠間隙(Gap)控制
主要參數(shù):
主要參數(shù) | 加工尺寸 | 曝光尺寸:6"*6" |
加工速度 | >140pcs/h(曝光時間=15s) >300pcs/h(曝光時間=3s) | |
加工精度 | 曝光分辨率:3μm (支持客戶定制) | |
平臺定位精度 | X 軸: ±1μm | |
Y 軸: ±1μm | ||
Z 軸: ±3μm | ||
Theta 軸: 0.1° | ||
激光器參數(shù) | 光源:500W UV Lamp,波長365nm (光源可選UVLED或UV汞燈,支持客戶定制) 感光區(qū)域:132*132mm (支持客戶定制) 工作照度:≥34mw/cm2 光源均勻度:≤3% 曝光均勻度:≤10% | |
Tact time | 9s(不包含曝光時間) | |
稼動率 | >0.95 |
加工效果: