主要特點(diǎn):
設(shè)備特點(diǎn):
1、正背切
2、清洗涂膠
3、全自動上下料
4、高速開關(guān)光控制
5、自動糾偏
主要參數(shù):
設(shè)備描述 | 設(shè)備尺寸(L*W*H) | 2300*1480*1780mm |
設(shè)備重量 | 3t(不含冷水機(jī)) | |
其它描述 | 1、電壓:單相220V | |
主要參數(shù) | 加工尺寸 | 4/6寸晶圓片 |
加工速度 | 100~500mm/s | |
加工精度 | ±1.5μm | |
平臺參數(shù) | 300*600mm | |
激光器參數(shù) | 50~500KHZ | |
Tact time | 4寸片160*160μm步距為標(biāo)準(zhǔn): | |
稼動率 | 98% | |
重大故障間隙時間 | 2H≥ | |
良率 | 99% | |
其他參數(shù) | CCD: |
加工效果: