主要特點(diǎn)：
設(shè)備特點(diǎn)：
1、廣角輪廓相機(jī)進(jìn)行輪廓識(shí)別，上料無需區(qū)分全、破片，極大節(jié)省作業(yè)時(shí)間
2、一鍵自動(dòng)換刀操作簡便，換刀后裂片刀深幾乎不變
3、高精度CCD相機(jī)進(jìn)行全自動(dòng)水平修正及位置修正，自動(dòng)識(shí)別殘片與整片，定位首道下刀位置
4、可分區(qū)域設(shè)置擊錘力度補(bǔ)償，長度補(bǔ)償，手動(dòng)補(bǔ)劈功能等
5、自動(dòng)保存生產(chǎn)記錄，自動(dòng)掃碼進(jìn)行裂片參數(shù)調(diào)檔作業(yè)
6、全自動(dòng)點(diǎn)檢劈刀和受臺(tái)水平，進(jìn)行位置自動(dòng)校正
7、多種劈裂模式可選擇，自動(dòng)劈裂(順劈、逆劈、邊緣劈裂、中間劈裂、跳劈)或手動(dòng)劈裂
8、可加工2寸、4寸和6寸片（定制配置）
9、敲擊擊錘損壞自動(dòng)檢測(cè)，劈刀磨損自動(dòng)檢測(cè)
主要參數(shù):
| 主要參數(shù) | 加工尺寸 | 2寸-6寸晶圓 |
| 加工速度 | 約2刀/s | |
| 加工精度 | ±3μm | |
| 平臺(tái)參數(shù) | X/Y行程 155*158mm | |
| 稼動(dòng)率 | 0.95 | |
| 重大故障間隙時(shí)間 | 1000H | |
| 良率 | ≥99.5% | |
| 劈刀 | 角度75度，刀長165mm，直線度0.008μm | |
| 受臺(tái)平面度 | ≤5μm | |
| Y軸 | 行程：158mm； 直線度：±5μm； 重復(fù)定位精度：±1μm | |
| 下CCD X軸 | 行程：155mm； 直線度：±5 μm； 重復(fù)定位精度：±1μm | |
| 旋轉(zhuǎn)Z軸 | 回轉(zhuǎn)角度：120°；最小分辨率0.005°； | |
| 劈刀升降F軸 | 行程：55mm； 直線度：±5 μm； 重復(fù)定位精度：±1 μm； |
加工效果：
