主要特點:
設(shè)備特點:
1、使用的相機技術(shù)以實現(xiàn)超快速度且極小像差的掃描
2、使用自主*的大視野顯微鏡,配有高級照明系統(tǒng)和即時聚焦技術(shù)
3、使用*的智能缺陷算法以克服制程工藝帶來的變異
4、大族是使用量測集成包的公司,能夠以一種簡單方便的方式創(chuàng)建一個快速的量測方案
主要參數(shù):
主要參數(shù) | 加工尺寸 | 8"/12" |
加工速度 | 200mm/S | |
加工精度 | 可檢2μm以上缺陷 | |
平臺參數(shù) | ±1μm | |
Tact time | 5X物鏡檢測8"晶圓WPH>50 | |
稼動率 | >0.97 | |
重大故障間隙時間 | >1000H | |
良率 | 過檢<3%,漏檢<0.3% |
加工效果: