主要特點:
設(shè)備特點:
1、長焦深,可解決片子翹區(qū)問題
2、高精度高速加工系統(tǒng)
3、全自動上下料
4、低損傷、高良品率
5、工藝參數(shù)可實時調(diào)節(jié)、可存儲
主要參數(shù):
主要參數(shù) | 加工尺寸 | 4/6寸晶圓片 |
加工速度 | 2400~3200mm/s | |
加工精度 | ±1.5μm | |
平臺參數(shù) | 400*600mm | |
激光器參數(shù) | 200KHz | |
Tact time | 4寸片單片加工時間為140S(不包含上下料時間) | |
稼動率 | 98% | |
重大故障間隙時間 | 2H≥ | |
良率 | 95% | |
振鏡及控制系統(tǒng) | 速度: 5000mm/s 精度:±10μm | |
加工方式 | 螺旋式由外往內(nèi) 圓形直線填充方式 |
加工效果: