主要特點(diǎn):
設(shè)備特點(diǎn):
1、特制激光系統(tǒng)
2、優(yōu)異的切割效果
3、全自動生產(chǎn)
4、高精度視覺系統(tǒng);自動對位,自動尋焦
5、高精密運(yùn)動平臺
6、兼容4/6inch生產(chǎn)
7、SECS GEM標(biāo)準(zhǔn)接口
主要參數(shù):
主要參數(shù) | 加工尺寸 | 4inch、6inch晶圓 |
加工速度 | 400-1000mm/s | |
加工精度 | ±1μm | |
平臺參數(shù) | 行程300mm×300mm 重復(fù)定位精度±0.001mm | |
激光器參數(shù) | 紅外 | |
稼動率 | 98%以上 | |
重大故障間隙時(shí)間 | >1000H | |
良率 | ≥99.5% |
加工效果: