手及夾頭機(jī)器人外圍設(shè)備清單
晶片?液晶卡爪
紙頁(yè)型晶片卡爪 WHA系列
WHA
可根據(jù)用戶的需求規(guī)格設(shè)計(jì)并定制，相關(guān)事項(xiàng)請(qǐng)另行咨詢。因?yàn)槭沁吘墛A具，不會(huì)與內(nèi)外面接觸。??
■固定、搬運(yùn)。
采用夾緊搬運(yùn)方式，可適用于各種搬運(yùn)形態(tài)。可有效地防止裝置高速化導(dǎo)致的芯偏移現(xiàn)象。
■不會(huì)接觸晶片內(nèi)外面。
只接觸邊緣部分，不會(huì)擔(dān)心以?shī)A緊或吸附方式搬運(yùn)時(shí)留下痕跡。
■適用于1級(jí)潔凈室。
■WHA系列
只設(shè)側(cè)臂的單側(cè)驅(qū)動(dòng)式邊緣夾具。
型號(hào)表現(xiàn)方法
規(guī)格
| 型號(hào) | WHA-200AS | WHA-300AS | WHA-450AS | |
|---|---|---|---|---|
| 搬運(yùn)工件 | 晶片 | |||
| 工件尺寸 | φ200 | φ300 | φ450 | |
| 搬運(yùn)方式 | 邊緣夾具 | |||
| 搬運(yùn)數(shù)量 | 1片 | |||
| 驅(qū)動(dòng)方式 | 閉合方向 | 彈簧（夾具方式） | ||
| 開(kāi)啟方向 | 真空壓力-60KPa ~ 95KPa(采用負(fù)壓氣缸) | |||
| 工作行程 | 10mm（夾7mm 鉗3mm） | |||
| 抓力 | ２．４Ｎ ～１．９Ｎ | 約7N | ||
| 潔凈度 | FED規(guī)格 1級(jí)（需吸附） | |||
| 牙叉（fork）材質(zhì) | CFRP | |||
| 緊固件?擋片?墊板 | PEEK | |||
| 主體質(zhì)量 | 約0.4kg | 約0.5kg | 約1.7kg | |
| 選項(xiàng) | 開(kāi)閉確認(rèn)傳感器 | |||
下載
| 目錄（規(guī)格，尺寸） | DXF數(shù)據(jù) | STEP，IGES數(shù)據(jù) | |
|---|---|---|---|
| WHA-200ＡＳ-1 |  | 需要3D數(shù)據(jù)請(qǐng)向廠家咨詢 | |
| WHA-300ＡＳ-1 | 需要3D數(shù)據(jù)請(qǐng)向廠家咨詢 | ||
| WHA-450ＡＳ | 需要3D數(shù)據(jù)請(qǐng)向廠家咨詢 |
