多種激光運(yùn)行模式與光束整形,保證切口質(zhì)量和效率
的波前校正技術(shù)確保高精度加工和一致性
自動定位、自動調(diào)焦、自動檢測,保證生產(chǎn)良率
可實(shí)現(xiàn)大圖形自動分切或手動分切選擇,拼接精度高達(dá) ±1um
支持翹曲片、TAIKO 片傳片
硅晶圓、TAIKO 環(huán)
規(guī)格型號 | WLP30-15/30 |
激光波長 | 355nm |
激光輸出功率 | 15/30W |
加工方式 | 掃描式與直線平臺 / 旋轉(zhuǎn)平臺組合運(yùn)動,自動圖形拼接 |
定位精度 | ±1um |
加工精度 | ±15um |
晶圓尺寸 | 6/8/12inch |