< 50nm 結(jié)深控制
低至 10nm 以內(nèi)的峰值濃度深度控制
優(yōu)異的雜質(zhì)形貌分布和均勻性
WPH 高達(dá) 25
完整的全程監(jiān)控反饋功能
背照式圖像傳感器晶圓
項目 | LA2515 |
晶圓尺寸 | 4/6、6/8 inch 兼容 |
激光功率 | 15W/13W |
典型掃描時間 | 90 sec/p@ 6 inch |
激光能量密度 | 0.3-3J/cm2 |
激活率 | ≥ 95% @B Implant |
均勻性 | 片內(nèi):≤ 1%,片間:≤ 1%,@6 inch,RS |
自動傳片系統(tǒng) | 雙 LoadPort、多關(guān)節(jié)機(jī)器手、預(yù)準(zhǔn)直器 |