技術(shù)參數(shù)
訂貨號(hào) | 6910230 (2um針尖半徑);6910232 (5um針尖半徑) |
測(cè)量原則 | 觸針式測(cè)量 |
輸入 | 感應(yīng)式滑動(dòng)測(cè)頭 |
測(cè)量范圍 | 350 μm、180 μm、90 μm(自動(dòng)切換) |
輪廓分辨率 | 32 nm、16 nm、8 nm(自動(dòng)切換) |
短行程符合 | 可選 |
掃描長(zhǎng)度符合 ISO 12085 (MOTIF) | 1 mm, 2 mm, 4 mm, 8 mm, 12 mm, 16 mm |
根據(jù) ISO/JIS 評(píng)估長(zhǎng)度 | 1.25 mm、4.0 mm、12.5 mm |
采樣長(zhǎng)度數(shù)量符合 ISO/JIS | 可選:1 至 5 |
測(cè)量力 (N) | 約0.7 mN |
校準(zhǔn)功能 | 動(dòng)態(tài) |
儲(chǔ)量 | 最多 15 個(gè)輪廓,最多 20000 個(gè)結(jié)果 |
其他 | 鎖定/密碼保護(hù),日期/時(shí)間 |