工作處理流程 :
自動(dòng)裝載→產(chǎn)品引到真空室→關(guān)閉真空室及抽真空度→前處理→真空清洗→產(chǎn)品推出→卸載
技術(shù)參數(shù)
電極配置和氣體流量 | |
保證良好的氣體流動(dòng)系統(tǒng)及均勻的等離子體生成系統(tǒng) | |
通過(guò)強(qiáng)力排氣及消除污染,*消除殘留物 | |
射頻發(fā)生器 | |
頻率 | 13.56Hz |
輸出功率 | 1000W Max |
配備自動(dòng)匹配系統(tǒng)以大限度地減少反射功率 | |
真空系統(tǒng) | |
真空干泵/油泵 | |
安全 | |
緊急停止按鈕,關(guān)閉所有功率和氣體流量 | |
射頻發(fā)生器互鎖 | |
室門關(guān)閉檢測(cè) | |
安全玻璃檢查觀點(diǎn) | |
電磁輻射抑制 |