奈米深度3D形狀顯微檢測(cè)儀 1510MSSWIM白光干涉儀使用說(shuō)明書(shū)下載
1. 奈米深度3D檢測(cè)
2. 高速/無(wú)接觸量測(cè)
3. 表面形狀/粗糙度分析
4. 非透明/透明材質(zhì)適用
5. 非電子束/非雷射的安全量測(cè)
奈米3D顯微形貌快速呈現(xiàn)
SWIM系列掃描白光干涉儀結(jié)合Carmar公司的相移垂直掃描的技術(shù)與顯微光干涉技術(shù),不需要復(fù)雜光路調(diào)整程序,即可在非接觸、無(wú)破壞、普通大氣環(huán)境下完成3D奈米深度的表面檢測(cè)分析,不僅提供3D表面形狀和表面紋理的分析,更可提供鏡面表面的奈米級(jí)粗糙度和臺(tái)階高度分析, 并追溯至ISO國(guó)際規(guī)范。
SWIM系列掃描白光干涉儀結(jié)合Carmar公司的相移垂直掃描的技術(shù)與顯微光干涉技術(shù),不需要復(fù)雜光路調(diào)整程序,即可在非接觸、無(wú)破壞、普通大氣環(huán)境下完成3D奈米深度的表面檢測(cè)分析,不僅提供3D表面形狀和表面紋理的分析,更可提供鏡面表面的奈米級(jí)粗糙度和臺(tái)階高度分析, 并追溯至ISO國(guó)際規(guī)范。
SWIM系列掃描白光干涉顯微檢測(cè)儀,具有*的測(cè)量能力,可在幾秒內(nèi)就完成整個(gè)視場(chǎng)的掃描,得到測(cè)量樣品的3D圖形與高度數(shù)據(jù),檢測(cè)速度與深度量測(cè)能力優(yōu)于逐點(diǎn)逐面掃描的共焦掃描顯微鏡,3D圖形量測(cè)能力又優(yōu)于掃描式電子顯微鏡的2D平面檢測(cè)能力,且不需要使用電子束或雷射,開(kāi)機(jī)快又安全。
無(wú)論是拋光面,還是粗糙面,甚至是透明材質(zhì),只要有超過(guò)1%以上的反射率就能夠被檢測(cè)。 SWIM系列顯微檢測(cè)儀適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測(cè),應(yīng)用領(lǐng)域包含:
1. 玻璃鏡片
2. 鍍膜表面
3. 晶圓(Wafer)
4. 光盤(pán)/硬盤(pán)(DVD Disk/Hard Disk)
5. 微機(jī)電組件 (MEMS Components)
6. 平面液晶顯示器(LCD)
7. 高密度線路印刷電路板( HDI PCB )
8. IC封裝( IC Package)
9. 精密微機(jī)械組件(Micro Mechanical Parts)
10. LED基板表面微圖案結(jié)購(gòu) (LED Subtract Micro-pattern)
11. 以及其它材料分析與組件微表面研究。
相移垂直掃描技術(shù),使深度分辨率達(dá)0.1nm
SWIM系列顯微檢測(cè)儀提供Z軸掃描分辨率0.1nm,平面空間分辨力0.61nm(50X物鏡)的量測(cè)能力,達(dá)12μm/s的垂直掃描速度,所具有的奈米3D顯微形貌快速呈現(xiàn)能力是科研、研發(fā)、生產(chǎn)品檢時(shí)所的工具。
機(jī)臺(tái)規(guī)格 (以下為標(biāo)準(zhǔn)機(jī)臺(tái)規(guī)格, 另可依客戶需求增加電動(dòng)平臺(tái)或自動(dòng)對(duì)焦模塊)
型號(hào) | 標(biāo)準(zhǔn)型 SWIM 1510MS | |||||
顯示器主架構(gòu) | 顯微鏡本體1X | |||||
物鏡放大倍率 | 10X | 20X | 50X | |||
觀察與量測(cè)范圍 長(zhǎng)X 寬 mm |
| 0.43 X 0.32 | 0.21 X 0.16 | 0.088 X 0.066 | ||
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光學(xué)分辨率 (mm) | 1.12 | 0.84 | 0.61 | |||
工作距離 (mm) | 7.4 | 4.7 | 3.4 | |||
量測(cè)用光學(xué)系統(tǒng) | 白光干涉顯微光學(xué)系統(tǒng) | |||||
高度測(cè)量 | 測(cè)量范圍 | 100 mm ( 400 mm, 選配) | ||||
量測(cè)分辨率 | 0.1 nm | |||||
重復(fù)精度(σ) (1) | ≦ 0.1 % ( 量測(cè)高度: > 10 m m) ≦ 10 nm ( 量測(cè)高度:1 m m ~ 10 m m) ≦ 5 nm ( 量測(cè)高度: <1 m m ) | |||||
量測(cè)控制 | 自動(dòng) | |||||
掃瞄速度 (mm /s) | 12 () | |||||
觀察與量測(cè)用光源 | 光源類型 | 儀器用鹵素光源 | ||||
平均使用壽命 | 1000小時(shí) | |||||
光強(qiáng)度調(diào)整 | 自動(dòng) /手動(dòng) | |||||
取像單元 | 影像傳感器 | 黑白 CCD數(shù)位攝像機(jī) | ||||
傳感器分辨率 |
| 640 x 480 像素 | ||||
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樣品移動(dòng)平臺(tái) | 觀察移動(dòng)平臺(tái) | 行程 | 150 mm x 100 mm, 手動(dòng) | |||
載重 | 大于 10 kg | |||||
Z 軸移動(dòng)范圍 | 80 mm,手動(dòng) | |||||
位置數(shù)字顯示單元 | 三軸光學(xué)尺與三軸數(shù)字顯示器 (分辨率1 mm) | |||||
傾斜調(diào)整平臺(tái) | 手動(dòng) | |||||
底座 | 花崗巖 | |||||
數(shù)據(jù)處理與顯示用計(jì)算機(jī) | 處理運(yùn)算單元 | 雙核心CPU | ||||
影像與數(shù)據(jù)顯示屏幕 | 17” 液晶屏幕 | |||||
存儲(chǔ)裝置 | 160 GB 以上硬盤(pán)機(jī) | |||||
操作系統(tǒng) | WindowsXP (2) | |||||
電源 | AC110V /220V ,50Hz /60Hz | |||||
重量 | 約150 kg (含花崗巖底座) | |||||
分析軟件 | WindowsXP 兼容的影像擷取與分析軟件, 包含 ISO 粗糙度/階高分析,快速傅利葉轉(zhuǎn)換和濾波, 多樣的 2D和 3D 觀測(cè)視角圖, 外形/面積/體積分析, 圖像縮放, 標(biāo)準(zhǔn)影像檔案格式轉(zhuǎn)換, 報(bào)表輸出等等。 | |||||
階高標(biāo)準(zhǔn)片(選配) | 提供 50 nm-- 150 mm 多種規(guī)格 |