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    產(chǎn)品|二手機|公司|采購|資訊

    晶圓激光開槽設(shè)備(low-k)

    參考價面議
    具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
    • 公司名稱蘇州德龍激光股份有限公司
    • 品       牌
    • 型       號
    • 所  在  地
    • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
    • 更新時間 2021-11-01
    • 訪問次數(shù)1455
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    蘇州德龍激光股份有限公司成立于2005年,位于蘇州工業(yè)園區(qū),由中、澳兩方投資創(chuàng)立,致力于研發(fā)、生產(chǎn)和銷售各類工業(yè)應(yīng)用激光設(shè)備,尤其是基于紫外激光和超短脈沖激光技術(shù)的設(shè)備,公司產(chǎn)品已被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、顯示、精密電子、高校科研和新能源等精密加工領(lǐng)域。

    公司是國家火炬計劃重點*、江蘇省*、*、*、*聯(lián)合認定的*、江蘇省科技型中小企業(yè)、江蘇省創(chuàng)新型企業(yè)、蘇州市創(chuàng)新先鋒企業(yè)、蘇州工業(yè)園區(qū)高成長性企業(yè),建有江蘇省認定企業(yè)技術(shù)中心、江蘇省太陽能電池激光加工工程技術(shù)研究中心、江蘇省*激光材料與器件重點實驗室、蘇州工業(yè)園區(qū)博士后科研工作站分站等高規(guī)格、高水平的技術(shù)研發(fā)平臺。

    公司一貫重視在研發(fā)方面的投入,培養(yǎng)了一支包括激光、光學(xué)、機械、電子、控制、軟件和工藝等專業(yè)的工程師隊伍,建有各類激光應(yīng)用超凈實驗室和潔凈生產(chǎn)車間,并配備了*的紫外激光加工系統(tǒng)、超短脈沖微加工系統(tǒng)以及各種精密檢測儀器,為自主研發(fā)提供了完備的硬件保障。公司擁有*專li70余項,其中發(fā)明專li20余項,實用新型專li50余項,以及軟件著作權(quán)10余項。

    德龍激光立足,以“誠信、敬業(yè)、團隊、創(chuàng)新”的企業(yè)精神,經(jīng)過十多年的長足發(fā)展,在同行及在客戶中贏得了口碑和信任,目前公司已進入穩(wěn)定發(fā)展期。我們在蘇州、無錫、廈門、深圳等地均設(shè)有下屬子公司,在美國、日本等地還設(shè)有境外子公司,為德龍激光化事業(yè)鋪設(shè)道路。

    激光儀器
    AS-5380利用高質(zhì)量光束在晶圓切割道內(nèi)進行表面刻線,劃槽加工
    晶圓激光開槽設(shè)備(low-k) 產(chǎn)品信息

    AS-5380利用高質(zhì)量光束在晶圓切割道內(nèi)進行表面刻線,劃槽加工





    設(shè)備優(yōu)勢:

      ◆ 有效減小崩邊和脫層,提高良率

      ◆ 開槽寬度,深度可調(diào)節(jié)

      ◆ 全自動運行,集成保護液涂覆,晶圓開槽,清洗模塊


    工藝流程:

      保護液涂覆---激光開槽---二流體水清洗





    ◆ 加工對象:low-k晶圓

    ◆ 激光種類:紫外半導(dǎo)體泵浦激光器

    ◆ 激光功率:≧5W

    ◆ 冷卻方式:封閉式循環(huán)水冷

    ◆ X軸:行程450mm,解析度0.1μm

    ◆ Y軸:行程500mm,解析度0.1μm

    ◆ Z軸:行程15mm,解析度0.1μm

    ◆ θ軸:行程120°,解析度0.001°

    ◆ 開槽深度:>10μm

    ◆ 切割軸速度:0-500mm/s

    ◆ 加工尺寸:12寸

    ◆ 上表面精度:0.01mm/300mm 

    ◆ 清洗盤轉(zhuǎn)速:2500r/min

    ◆ 位置精度:0.01°

    ◆ 加工方式:正面開槽,全自動加工

    對焦方式:自動對焦

    ◆ 打光系統(tǒng):點光源





    應(yīng)用材料和領(lǐng)域:

      ◆ 應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)40nm及以下線寬的low-k晶圓的表面開槽

      ◆ 適用于表面需要進行劃線或者開細槽加工的半導(dǎo)體晶圓


    加工效果示例圖:

        





    關(guān)鍵詞:激光器

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