可實現對氧化物晶圓的高品質連續(xù)加工
- 電鑄結合劑
加工對象: Oxide wafers (LiTaO3, etc.), etc
采用了于氧化物晶圓加工的磨耗性能接合劑。能夠對至今為止連續(xù)加工困難的氧化物晶圓實施穩(wěn)定且高品質的連續(xù)切割加工。另外，在鉭酸鋰（LiTaO3)晶圓的DBG加工工藝中，有望獲得更加穩(wěn)定的加工效果。
- 可對氧化物晶圓實施高品質且穩(wěn)定的加工
- 可大幅度減少加工中的間隙磨刀頻率， 充分發(fā)揮高速連續(xù)加工的特點
實驗結果
加工品質比較
表面崩缺-chipping比較
| Workpiece | LiTaO3 Φ4” ｘ 350 µmt |
| Depth | 350 µm (full cut) |
| Blade | ZHFX-SD2000-C1-50 DF NBC-ZH105L 27HEDF |
切割方向
主軸電流值比較
上圖為在LiTaO3晶圓加工過程中測得的電流值。ZHFX系列主軸的電流值并沒有隨著切割線數量的增加而上升，可實現穩(wěn)定加工。
| Workpiece | LiTaO3 Φ4” ｘ 350 µmt |
| Depth | 150 µm (full cut) |
| Blade | ZHFX-SD1700-C1-50 DF NBC-ZH106L 27HEDF |
技術規(guī)格
