支撐晶圓工藝進(jìn)化、邁向更薄/更大口徑的晶圓研削
- Φ300 mm
- 2 axes, 3 chuck tables
- DBG
- Wafer Thinning
傳承了備受好評的研削機(jī)規(guī)格
該機(jī)種是備受各地客戶好評的DFG800系列的升級換代機(jī)種。既具備了800系列的技術(shù)規(guī)格及性能，又在設(shè)備的重量方面取得了重大改進(jìn)又減少了1.0 t自重（比DFG850降低20％）。
追求100 μm以下超薄晶圓的精密研削
通過優(yōu)化研削及搬運(yùn)系統(tǒng)的參數(shù)，實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定的超薄研削加工。
針對超薄研削工藝的系統(tǒng)擴(kuò)展功能
可以與DBG（Dicing Before Grinding＝先切割晶圓，后進(jìn)行研削）和干式拋光機(jī)（DFP8160）等組成聯(lián)機(jī)系統(tǒng)。
通過改變研削加工點(diǎn)以提高可信度
通過將主軸的研削加工點(diǎn)與第二主軸的研削加工點(diǎn)的位置統(tǒng)一，提高了第二主軸的研削加工穩(wěn)定性。既減小了單片晶圓內(nèi)的厚度誤差和晶圓之間的厚度誤差，又有助于提高超薄研削加工質(zhì)量的穩(wěn)定性。
維持與以往機(jī)型的互換性
維持與800系列的兼容性，可以使用800系列機(jī)相同的研削磨輪，磨輪修整板，主軸以及工作臺。
操作簡便
配置了觸摸式液晶顯示器及GUI （Graphical User Interface），提高了操作便利性。控制畫面可同步顯示加工狀況和設(shè)備狀態(tài)，操作人員只要觸摸控制畫面上的按鈕，就可以簡單地完成操作。更便利于日常設(shè)備操作和維修保養(yǎng)時(shí)的操作。
Specifications
| Specification | Unit | ||
|---|---|---|---|
| Wafer Diameter | - | Φ300 mm ( Φ200, 300 mm with universal chuck table use) | |
| Grinding Method | - | Anomalous In-feed grinding with wafer rotation | |
| Grinding Wheels | - | Φ300 mm Diamond Wheel | |
| Spindle | Output | kW | 4.8 | Revolution speed range | min‐1 | 1,000 ～ 4,000 |
| Machine dimensions (W × D × H) | mm | 1,400 × 3,190 × 1,800 | |
| Machine weight | kg | Approx.4,000 | |
※為了改善，機(jī)器的外觀，特征，規(guī)格等本公司可能在未預(yù)先通知用戶的情況下實(shí)施變更。
※使用時(shí)，請先確認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格書。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
| DAG810 | DFG8340 | DFG8540 | DFG8640 | DFG8830 | DGP8761 |
| 半自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) | 全自動(dòng) |
| 1 | 1 | 2 | 2 | 4 | 3 |
| 1 | 2 | 3 | 3 | 5 | 4 |
| 600 × 1,700 × 1,780 | 800 × 2,450 × 1,800 | 1,200 × 2,670 × 1,800 | 1,000 × 2,800 × 1,800 | 1,400 × 2,500 × 2,000 | 1,690 × 3,315 × 1,800 |
| 1,300 | 2,500 | 3,100 | 3,500 | 6,000 | 6,700 |
