X軸采用氣浮導(dǎo)軌，可滿足高精度的加工需求
- Φ150 mm
- 單主軸
可對(duì)應(yīng)廣泛的產(chǎn)品應(yīng)用
加工物尺寸直徑6英寸，特殊選配可加工150×150 mm的加工物。高扭矩2.0 KW的標(biāo)配主軸，可以靈活地對(duì)應(yīng)難切割材料的加工。
采用了寬敞的水箱結(jié)構(gòu)，以及X軸有充足行程的構(gòu)造。
可對(duì)應(yīng)高精度?高品質(zhì)的加工
X軸的結(jié)構(gòu)充分發(fā)揮氣浮導(dǎo)軌的特性，實(shí)現(xiàn)了直線度的提高。
Y軸標(biāo)準(zhǔn)配置的光柵尺可以穩(wěn)定地進(jìn)行軸控制，發(fā)揮更高的定位精度。根據(jù)這些功能，可滿足精度要求較高的光學(xué)部品及磁頭等產(chǎn)品的切割、開(kāi)槽等精密加工需求。
提高生產(chǎn)效率
提高了Z軸的移動(dòng)速度。
提高加工效率
新型非接觸式測(cè)高功能（Non-Contact Setup/ 選配），對(duì)工作臺(tái)的刀片測(cè)高時(shí)間縮短了74%。因?yàn)樘岣吡藴y(cè)量精度，使加工品質(zhì)更加穩(wěn)定。除此之外，顯微鏡環(huán)形照明的開(kāi)燈方向可以切換3種模式，提高了切痕檢測(cè)的識(shí)別率。可對(duì)應(yīng)SECS/GEM通信系統(tǒng)。
操作簡(jiǎn)便
- XIS (Extended Interface System)
操作按鈕集中于顯微鏡頁(yè)面 - Wafer mapping
與全自動(dòng)機(jī)型相同，以圖示顯示切割的進(jìn)度狀態(tài) - Log viewer
以圖示表示類(lèi)比數(shù)據(jù)，可視化切割參數(shù) - Help viewer
異常發(fā)生時(shí)顯示對(duì)應(yīng)措施，有助于迅速切實(shí)地恢復(fù)設(shè)備狀態(tài)
便捷的保養(yǎng)特性
配置了顯微鏡鏡頭專(zhuān)用擋板和吹氣清潔裝置，可以降低保養(yǎng)頻率，并提高設(shè)備的工作效率。
Specifications
| Specification | Unit | ||
|---|---|---|---|
| Max. workpiece size | - | Φ6 inch (150 mm × 150 mm, 220 mm × 160 mm user-specified specification) | |
| X-axis | Cutting range | mm | 160 |
| Cutting speed | mm/s | 0.1 ～ 300 | |
| Y-axis | Cutting range | mm | 162 |
| Index step | mm | 0.0001 | |
| Index positioning accuracy | mm | 0.0015/160 (Single error) 0.0005/5 | |
| Z-axis | Max. stroke | mm | 32.2（Φ2" blade） |
| Moving resolution | mm | 0.000002 (2 nm) | |
| Repeatability accuracy | mm | 0.001 | |
| θ-axis | Max. rotating angle | deg | 320 |
| Spindle | Rated output | kW | 2.0 at 40,000 min-1 |
| Rated torque | N?m | 0.48 | |
| Revolution speed range | min‐1 | 3,000 ～ 40,000 | |
| Machine dimensions(W×D×H) | mm | 730 × 900 × 1,670 | |
| Machine weight | kg | Approx. 600 | |
※ 為了改善，機(jī)器的外觀，特征，規(guī)格等本公司可能在未預(yù)先通知用戶的情況下實(shí)施變更。
※ 機(jī)器的使用條件，請(qǐng)先確認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格書(shū)。
Product Lineup
| Machine type |
| Spindle |
| C/T |
| Machine dimentions（W × D × H） |
| Machine weight（kg） |
| DAD323 | DAD324 | DAD3220 | DAD3221 | DAD3230 | DAD3231 | DAD3240 | DAD3241 | DAD3350 | DAD3351 | DAD3360 | DAD3361 | DAD3430 | DAD3650 | DAD3651 | DAD3660 | DAD3661 |
| 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) | 半自動(dòng) |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 2 | 2 | 2 | 2 |
| 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
| 490 × 870 × 1,600 | 490 × 870 × 1,670 | 500 × 900 × 1,670 | 490 × 870 × 1,670 | 730 × 900 × 1,670 | 650 × 950 × 1,670 | 650 × 950 × 1,600 | 650 × 950 × 1,670 | 900 × 1,050 × 1,800 | 880 × 1000 × 1,800 | 880 × 1,000 × 1,800 | 880 × 1,000 × 1,800 | 730 × 900 × 1,670 | 790 × 790 × 1,890 | 790 × 790 × 1,800 | 1,350 × 1,200 × 1,890 | 1,350 × 1,200 × 1,800 |
| 400 | 420 | 550 | 420 | 600 | 550 | 530 | 550 | 1,200 | 1,100 | 1,100 | 1,100 | 600 | 1,100 | 1,040 | 1,500 | 1,550 |
